长川科技(苏州)有限公司李梦梦获国家专利权
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龙图腾网获悉长川科技(苏州)有限公司申请的专利线扫光学检测系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223107666U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421762194.4,技术领域涉及:G01N21/95;该实用新型线扫光学检测系统是由李梦梦;李金;梁添;陈进设计研发完成,并于2024-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本线扫光学检测系统在说明书摘要公布了:本公开提供了一种线扫光学检测系统,包括照明系统和成像系统,包括多个不同倍率的显微物镜、物镜转换器、第一线阵检测相机和第二线阵检测相机;物镜转换器用于切换多个不同倍率的显微物镜;第一线阵检测相机和第二线阵检测相机中的一个为用于针对待测对象的检测区域逐行采集黑白图像的黑白线阵相机,第一线阵检测相机和第二线阵检测相机中的另一个为用于针对检测区域逐行采集彩色图像的彩色线阵相机;照明系统发射的光线入射至检测区域后产生信号光,信号光经显微物镜收集至第一线阵检测相机和或第二线阵检测相机中,由第一线阵检测相机和或第二线阵检测相机逐行采集图像用于测量待测对象,可以提高晶圆缺陷的检测效果。
本实用新型线扫光学检测系统在权利要求书中公布了:1.一种线扫光学检测系统,其特征在于,包括照明系统和成像系统,所述成像系统包括多个不同倍率的显微物镜、物镜转换器、第一线阵检测相机和第二线阵检测相机; 所述物镜转换器,用于切换所述多个不同倍率的显微物镜; 所述第一线阵检测相机和所述第二线阵检测相机中的一个为用于针对待测对象的检测区域逐行采集黑白图像的黑白线阵相机,所述第一线阵检测相机和所述第二线阵检测相机中的另一个为用于针对所述检测区域逐行采集彩色图像的彩色线阵相机; 其中,所述照明系统发射的光线入射至所述检测区域后产生信号光,所述信号光经所述显微物镜收集至所述第一线阵检测相机和或所述第二线阵检测相机中,由所述第一线阵检测相机和或所述第二线阵检测相机逐行采集图像用于测量所述待测对象。
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