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中国科学院物理研究所陈小龙获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学院物理研究所申请的专利用于制备n型4H-SiC单晶的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118563408B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410482541.6,技术领域涉及:C30B15/00;该发明授权用于制备n型4H-SiC单晶的方法是由陈小龙;盛达;杨云帆;李辉;王文军;郭建刚设计研发完成,并于2024-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。

用于制备n型4H-SiC单晶的方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种用于制备n型4H‑SiC单晶的方法,其依次包括以下步骤:1将含Si、Al和过渡金属的金属原料置于石墨坩埚中,并且将SiC籽晶固定在石墨籽晶杆上;2将所述石墨坩埚置于生长炉中,然后对所述生长炉抽真空;3通入气体并控制生长炉内的气压;4加热所述石墨坩埚使得所述金属原料完全熔化以形成熔体;5下降所述籽晶使得籽晶与所述熔体接触,进而生长n型4H‑SiC单晶;其中,所述过渡金属选自Cr、Sc、V、Mn和Cu中的一种或几种。本发明的方法能够有效地降低4H‑SiC与熔体的界面能、稳定4H晶型、提高结晶质量并且能够大幅度提高晶体生长速度和降低成本。

本发明授权用于制备n型4H-SiC单晶的方法在权利要求书中公布了:1.一种用于制备n型4H-SiC单晶的方法,其依次包括以下步骤: (1)将含Si、Al和过渡金属的金属原料置于石墨坩埚中,并且将SiC籽晶固定在石墨籽晶杆上; (2)将所述石墨坩埚置于生长炉中,然后对所述生长炉抽真空; (3)通入气体并控制生长炉内的气压; (4)加热所述石墨坩埚使得所述金属原料完全熔化以形成熔体; (5)下降所述籽晶使得籽晶与所述熔体接触,进而生长n型4H-SiC单晶; 其中,所述过渡金属选自Cr、Sc、V、Mn和Cu中的一种或几种; 所述金属原料中Si、Al与过渡金属的原子摩尔比为Si:Al:过渡金属=30~70:0.5~4:30~60; 所述气体由氮气组成,或者由氮气与选自氩气和氦气中的一种或两种混合而成。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院物理研究所,其通讯地址为:100190 北京市海淀区中关村南三街8号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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