江苏第三代半导体研究院有限公司孙罗男获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏第三代半导体研究院有限公司申请的专利用于电子显微镜的样品的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114923753B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210574364.5，技术领域涉及：G01N1/28；该发明授权用于电子显微镜的样品的制备方法是由孙罗男;王国斌设计研发完成，并于2022-05-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于电子显微镜的样品的制备方法在说明书摘要公布了：本发明提出一种用于电子显微镜的样品的制备方法。所述方法包括如下步骤：提供一初始样品；在所述初始样品的待检测区域形成保护层；沿所述保护层的外围切割所述初始样品，获得一端与初始样品相连的样品片；取出所述样品片；对所述样品片采用离子束轰击进行减薄，所述离子束具有一倾斜角。上述技术方案通过对样品片实施低电压下的减薄，并通过设置离子束的倾角来抑制分散问题，可以在确保减薄效率的情况下有效减少电子束对样品片的轰击，从而降低孔洞产生的可能性，提高成像质量。制作用于电子显微镜的样品的过程中进一步实施多步减薄，调整每一步的电压及电流，提高加工速率，同时也能减少对样品片的损伤。
本发明授权用于电子显微镜的样品的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种用于电子显微镜的样品的制备方法，其特征在于，包括如下步骤： 提供一初始样品； 在所述初始样品的待检测区域形成保护层； 沿所述保护层的外围切割所述初始样品，获得一端与初始样品相连的样品片； 取出所述样品片并连接至铜网上； 对固定到所述铜网的所述样品片采用离子束轰击进行多次减薄；其中，所述离子束具有一倾斜角，减薄的电压为1kV～16kV，离子束的倾斜角度范围是±5°，在多次减薄的过程中逐级降低电压与电流； 其中，当减薄的电压为16kV时，离子束的倾斜角度范围是±1.5°；当减薄的电压降低至5kV时，离子束的倾斜角度范围是±3°；当减薄的电压降低至2kV时，离子束的倾斜角度范围是±5°。
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