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龙图腾网获悉无锡昌德微电子股份有限公司申请的专利一种晶圆用高效剥膜装置及剥膜工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114843214B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210513213.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆用高效剥膜装置及剥膜工艺是由黄昌民;张志奇;张站东;何飞;黄国荣设计研发完成，并于2022-05-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆用高效剥膜装置及剥膜工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆用高效剥膜装置及剥膜工艺，属于晶圆加工领域，一种晶圆用高效剥膜装置，包括机架，机架的上部设置有运输带，运输带上设置有若干个晶圆固定架，晶圆固定架上装配有晶圆本体和膜片的组合体，运输带的一端为起始端，另一端为终点端，机架上且位于运输带的上侧设置有初次分离机构和二次剥离机构，且初次分离机构位于二次剥离机构靠近起始端的一侧，二次剥离机构上设置有废弃膜回收机构，机架上且位于运输带终点端的下侧固定连接有灰料箱，初次分离机构包括有固定连接在机架上的L形支架，它可以实现，连续性的对多个晶圆本体和膜片进行剥离并储存，提升剥膜效率，且剥膜的效果较好。

本发明授权一种晶圆用高效剥膜装置及剥膜工艺在权利要求书中公布了：1.一种晶圆用高效剥膜装置，包括机架1，其特征在于：所述机架1的上部设置有运输带2，所述运输带2上设置有若干个晶圆固定架，所述晶圆固定架上装配有晶圆本体5和膜片6的组合体，所述运输带2的一端为起始端，另一端为终点端，所述机架1上且位于运输带2的上侧设置有初次分离机构和二次剥离机构，且所述初次分离机构位于二次剥离机构靠近起始端的一侧； 所述二次剥离机构上设置有废弃膜回收机构，所述机架1上且位于运输带2终点端的下侧固定连接有灰料箱29； 所述初次分离机构包括有固定连接在机架1上的L形支架34，所述L形支架34的下部固定连接有多个小支架35，所述小支架35上装配有弹力拉绳36； 所述二次剥离机构包括有固定连接在机架1上的辅助支架24，所述运输带2上转动连接有位于运输带2上侧的热熔剥膜筒25，所述辅助支架24上还固定连接有用于带动热熔剥膜筒25进行转动的驱动机构26； 所述废弃膜回收机构包括有固定连接在辅助支架24上的剥离线组件和废弃膜回收箱27，所述废弃膜回收箱27上倾斜固定连接有与热熔剥膜筒25相抵的导料板28； 所述剥离线组件包括有两个固定连接在辅助支架24上的弹性架，且两个所述弹性架分别位于热熔剥膜筒25的两侧，两个所述弹性架之间固定连接有分离钢丝线32，且所述分离钢丝线32的下部和热熔剥膜筒25的上部相抵。

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