浙江理工大学楼益民获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江理工大学申请的专利一种波前光刻方法与系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114995065B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210484627.3，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种波前光刻方法与系统是由楼益民;吴锋民;胡娟梅设计研发完成，并于2022-05-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种波前光刻方法与系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种波前光刻方法与系统，包括如下步骤：S1、将波前信息分解成若干个子波前信息；S2、采用宏像素来逐个分解、编码并光刻输出具有消散斑、去高斯分布的子波前信息，宏像素单元内包含子波前信息的振幅和相位信息；能够在4π立体角空间内实现参考光物光的任意干涉角度的实时调制，能够高效制备高均匀性、消散斑噪音的复杂微纳结构；能够提高波前信息的信噪比，减少光强受激光的高斯分布的影响，获得高质量的波前信息。
本发明授权一种波前光刻方法与系统在权利要求书中公布了：1.一种波前光刻方法，其特征在于，包括如下步骤： S1、将波前信息分解成若干个子波前信息； S2、采用宏像素来逐个分解、编码并光刻输出具有消散斑、去高斯分布的子波前信息，利用衍射反演计算将所述子波前的振幅和相位信息编码为对应的振幅或相位透过率分布图，将所述振幅或相位透过率分布图输入空间光调制器，在物光束的照明下，所述分布图通过衍射再现其编码的子波前信息，再现的子波前信息与波前光刻系统的参考光波前子系统中的参考光干涉形成宏像素，宏像素是通过物光和参考光的干涉形成的干涉图像单元，宏像素单元内包含子波前信息的振幅和相位信息。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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