株式会社尤金科技金苍乭获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社尤金科技申请的专利用于处理衬底的系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114551289B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111394603.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于处理衬底的系统是由金苍乭;南成珉设计研发完成，并于2021-11-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于处理衬底的系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种用于处理衬底的系统。用于处理衬底的系统包含：处理管，配置成提供用于衬底的处理空间；以及排气模块，连接到处理管的排气口以将处理空间内的处理残留物排放到外部。排气模块包含：排气管，连接到排气口；密封壳体，配置成容纳排气管的至少一部分；以及局部排气部件，设置于密封壳体中以对所述密封壳体的内部进行排气。
本发明授权用于处理衬底的系统在权利要求书中公布了：1.一种用于处理衬底的系统，所述系统包括： 处理管，配置成提供用于所述衬底的处理空间；以及 排气模块，连接到所述处理管的排气口以将所述处理空间内的处理残留物排放到外部， 其中所述排气模块包括： 排气管，连接到所述排气口； 密封壳体，配置成容纳所述排气管的至少一部分； 局部排气部件，设置于所述密封壳体中以对所述密封壳体的内部进行排气； 真空传感器，连接到所述排气管以测量所述处理管的真空程度；以及 泄漏检测部件，设置于所述密封壳体中以检测所述排气管的排气泄漏， 其中所述密封壳体容纳至少在所述排气管与所述真空传感器之间的连接部分， 其中所述排气模块进一步包括连接到所述局部排气部件以稀释泄漏排气的泄漏气体稀释部件。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社尤金科技，其通讯地址为：韩国京畿道龙仁市处仁区阳智面秋溪路42；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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