科慕·三井氟产品株式会社矢部洋正获国家专利权
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龙图腾网获悉科慕·三井氟产品株式会社申请的专利用于气相色谱-质谱的溶剂以及用于测定氟树脂熔体模塑产品的表面上的含氟物质的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113574376B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080018693.0,技术领域涉及:G01N30/02;该发明授权用于气相色谱-质谱的溶剂以及用于测定氟树脂熔体模塑产品的表面上的含氟物质的方法是由矢部洋正;弘子板垣设计研发完成,并于2020-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于气相色谱-质谱的溶剂以及用于测定氟树脂熔体模塑产品的表面上的含氟物质的方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种用于含氟物质的气相色谱‑质谱的含氟溶剂,该含氟物质被发现污染氟树脂熔体模塑产品的表面并且对此类产品用于半导体制造中的流体处理的用途是不利的。本发明还提供了一种用于此类含氟物质的定量测定方法和用于此类含氟物质的定性分析方法,这些方法基于使用含氟溶剂的气相色谱‑质谱方法,使得能够确定作为熔体模塑氟树脂产品表面上的细颗粒而存在的痕量污染物含氟物质的存在或不存在。
本发明授权用于气相色谱-质谱的溶剂以及用于测定氟树脂熔体模塑产品的表面上的含氟物质的方法在权利要求书中公布了:1.溶剂用于附着到氟树脂熔体模塑产品表面的含氟物质的气相色谱-质谱分析中的用途,所述溶剂包括含氟溶剂,其中所述含氟溶剂为1,1,1,2,3,4,4,5,5,5-十氟戊烷,并且其中所述含氟物质溶解于含氟溶剂中。
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