四川汇瑞碳基新材料科技有限公司陈浩纯获国家专利权
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龙图腾网获悉四川汇瑞碳基新材料科技有限公司申请的专利一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223118543U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421899005.8,技术领域涉及:C23C16/44;该实用新型一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉是由陈浩纯;魏璐;郭勇;赵江鹏;许学亮设计研发完成,并于2024-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉,涉及沉积炉技术领域,本装置的沉积机构可以选择第一双向螺杆驱动两个第一螺纹座相互靠近从而带动两组连接杆相互靠近,即可调节两组连接杆之间的间距,使装置可以适配多种长度的管状基体,增大了装置的实用性,本装置还设置有驱动机构,所述驱动机构可以驱动固定座旋转,进而带动管状基体旋转,让基体在沉积炉内围绕圆心低速旋转,让管状基体表面均可与高浓度新材料接触,保证了管状基体表面沉积效果相同,减少了管状基体部分表面处于低浓度新材料区域导致沉积耗费时间长的时间发生,增加了沉积效率,提高成品质量。
本实用新型一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉在权利要求书中公布了:1.一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉,其特征在于,包括: 沉积机构,所述沉积机构用于在基体表面沉积碳化硅涂层; 所述沉积机构包括沉积炉1,所述沉积炉1的内底面安装有移动座2,所述移动座2的上表面开设有移动槽3,所述移动槽3内转动安装有第一双向螺杆4,所述第一双向螺杆4的每条螺纹上均设置有与移动槽3相适配的第一螺纹座5,所述第一双向螺杆4的一端延伸至沉积炉1外部并安装有第一旋钮6,每个所述第一螺纹座5的上表面均安装有侧板7; 驱动机构,所述驱动机构用于驱动基体旋转。
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