东方晶源微电子科技(北京)有限公司张荣佳获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)有限公司申请的专利高精度扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置及设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116051582B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211658956.1,技术领域涉及:G06T7/13;该发明授权高精度扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置及设备是由张荣佳;韩春营设计研发完成,并于2022-12-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本高精度扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置及设备在说明书摘要公布了:本申请提供了一种高精度扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质,该方法包括:在采集到多个待检测位置的多个扫描电子显微镜图像的情况下,将多个扫描电子显微镜图像分别与设计版图对准,生成对准结果;基于对准结果提取每一个扫描电子显微镜图像的第一扫描电子显微镜图像轮廓;将每一个第一扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图进行比对,生成比对结果;基于比对结果对每一个第一扫描电子显微镜图像轮廓进行调整,生成多个第二扫描电子显微镜图像轮廓;对所有第二扫描电子显微镜图像轮廓求平均,生成第三扫描电子显微镜图像轮廓。本申请能够有效地提高扫描电子显微镜图像轮廓的精准度。
本发明授权高精度扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置及设备在权利要求书中公布了:1.一种高精度扫描电子显微镜图像轮廓提取方法,其特征在于,所述方法包括: 在采集到多个待检测位置的多个扫描电子显微镜图像的情况下,将所述多个扫描电子显微镜图像分别与设计版图对准,生成对准结果;其中,所述多个待检测位置均含有相同的图案;所述多个待检测位置与所述多个扫描电子显微镜图像一一对应; 基于所述对准结果提取每一个所述扫描电子显微镜图像的第一扫描电子显微镜图像轮廓; 将每一个所述第一扫描电子显微镜图像轮廓与所述设计版图进行比对,生成比对结果; 基于所述比对结果对每一个所述第一扫描电子显微镜图像轮廓进行调整,生成多个第二扫描电子显微镜图像轮廓;其中,多个所述第一扫描电子显微镜图像轮廓与多个所述第二扫描电子显微镜图像轮廓一一对应; 对所有所述第二扫描电子显微镜图像轮廓求平均,生成第三扫描电子显微镜图像轮廓。
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