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中国计量科学研究院金森林获国家专利权

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龙图腾网获悉中国计量科学研究院申请的专利一种具有压力显示的弹簧探针模块获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115754392B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211433052.9,技术领域涉及:G01R1/073;该发明授权一种具有压力显示的弹簧探针模块是由金森林;曹俊伟;任玲玲设计研发完成,并于2022-11-16向国家知识产权局提交的专利申请。

一种具有压力显示的弹簧探针模块在说明书摘要公布了:本发明涉及一种具有压力显示的弹簧探针模块,压力显示模块的压力传感器设置在压力模块的下表面,压力传感器通过压力传感器导线与压力显示屏电连接;弹簧探针模块上表面的压力模块对应框内设有与压力传感器相对应的弹簧探针通孔;样品底座上设有样品放置框,样品放置框的角上设有探针放置框,探针放置框与弹簧探针通孔相对应,弹簧探针的顶端与压力传感器接触,弹簧探针的底端穿过弹簧探针通孔与探针放置框相对应。利用压力模块可以对弹簧探针模块上的弹簧探针施加压力,同时压力显示模块可以实时反馈弹簧探针施加到低中掺杂半导体材料样品的石墨烯电极上的压力,实现利用本发明对低中掺杂半导体材料样品使用范德堡法做到无损探测。

本发明授权一种具有压力显示的弹簧探针模块在权利要求书中公布了:1.一种具有压力显示的弹簧探针模块,其特征在于,包括压力模块(1)、压力显示模块(2)、弹簧探针模块(3)、样品底座(4)和弹簧探针(6),所述压力显示模块(2)包括压力传感器(201)、压力传感器导线(202)和压力显示屏(203),所述压力传感器(201)设置在压力模块(1)的下表面,所述压力传感器(201)通过压力传感器导线(202)与压力显示屏(203)电连接; 所述弹簧探针模块(3)的上表面设有与压力模块(1)相对应的压力模块对应框(301),所述压力模块对应框(301)内设有与压力传感器(201)相对应的弹簧探针通孔(302); 所述样品底座(4)上设有样品放置框(401),所述样品放置框(401)的角上设有探针放置框(402),所述探针放置框(402)与弹簧探针通孔(302)相对应,所述弹簧探针(6)的顶端与压力传感器(201)接触,所述弹簧探针(6)的底端穿过弹簧探针通孔(302)与探针放置框(402)相对应; 所述样品放置框(401)内放置低中掺杂半导体材料样品(5),所述低中掺杂半导体材料样品(5)的角上设有石墨烯电极(501),所述弹簧探针(6)的底端与石墨烯电极(501)的中心压力接触; 所述压力模块(1)上设有四个压力传感器(201),所述压力显示模块(2)设有两个压力显示屏(203),所述压力显示屏(203)分别与压力模块(1)左侧和右侧的压力传感器(201)通过压力传感器导线(202)电连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国计量科学研究院,其通讯地址为:100029 北京市朝阳区北三环东路18号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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