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中国工程物理研究院激光聚变研究中心姚彩珍获国家专利权

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龙图腾网获悉中国工程物理研究院激光聚变研究中心申请的专利钝化液辅助飞秒激光加工金属表面三维精细结构的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115625416B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211424095.0,技术领域涉及:B23K26/122;该发明授权钝化液辅助飞秒激光加工金属表面三维精细结构的方法是由姚彩珍;蒋一岚;牛龙飞;向思衡;苗心向;吕海兵;周国瑞设计研发完成,并于2022-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。

钝化液辅助飞秒激光加工金属表面三维精细结构的方法在说明书摘要公布了:本发明公开了钝化液辅助飞秒激光加工金属表面三维精细结构的方法,包括:金属样品预处理;搭建飞秒激光加工系统;将预处理的金属样品固定在盛有钝化液的容器底部,在空间光调制器上加载预先设计好的全息图;在CCD相机视野范围下找到金属样品表面,通过控制容器内钝化液的量控制飞秒激光射入液体的深度,通过衰减片控制飞秒激光与金属样品接触面的功率密度;飞秒激光与钝化液发生耦合作用后到达金属样品表面;对金属样品进行直写加工;加工完成后将金属样品取下,依次用乙醇、去离子水超声清洗,晾干。钝化液可限制加工区域金属表面等离子体激元的生成,降低入射激光与等离子体激元的干涉作用,降低二维周期性亚波长结构的生成。

本发明授权钝化液辅助飞秒激光加工金属表面三维精细结构的方法在权利要求书中公布了:1.钝化液辅助飞秒激光加工金属表面三维精细结构的方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤一、金属样品预处理,金属样品表面经超纯水超声清洗,无水乙醇冲洗,然后利用洁净室温空气吹干得到干净的金属样品表面; 步骤二、搭建飞秒激光加工系统; 步骤三、将预处理的金属样品固定在盛有钝化液的容器底部,在空间光调制器上加载预先设计好的全息图,钝化液为质量分数0.5%的亚硝酸钠溶液;在CCD相机视野范围下找到金属样品表面,通过控制容器内钝化液的量控制飞秒激光射入液体的深度,通过衰减片控制飞秒激光与金属样品接触面的功率密度;飞秒激光与钝化液发生耦合作用后到达金属样品表面;确定金属样品加工参数后,在计算机控制下飞秒激光按照事先编写的加工程序通过扫描振镜或电控平移台对金属样品进行直写加工;加工完成后将金属样品取下,依次用乙醇、去离子水超声清洗,晾干,得到表面具有三维精细结构的金属样品; 飞秒激光加工系统包括: 飞秒激光光源,其出射端口外部设置有光路传输控制系统; 实时监控系统,所述光路传输控制系统位于飞秒激光光源与实时检测系统之间; 钝化液辅助加工系统,其位于所述实时监控系统的下方,所述容器放置在钝化液辅助加工系统上; 钝化液辅助加工系统为搅动钝化液辅助加工系统; 光路传输控制系统包括: 衰减片,其与所述飞秒激光光源的出射端口同轴设置,所述衰减片的后方依次同轴设置有棱镜、第一透镜和第二透镜; 第一反射镜,其设置在所述第二透镜的后方; 飞秒激光光源波长为350nm-1064nm,重频为1kHz,脉宽为35fs-260fs,功率为300mW-800mW,飞秒激光光斑直径为30μm-90μm,扫描行间距为30μm-90μm,扫描速率为1mms。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国工程物理研究院激光聚变研究中心,其通讯地址为:621000 四川省绵阳市科学城绵山路64号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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