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安徽大学于琦获国家专利权

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龙图腾网获悉安徽大学申请的专利蝙蝠型表面纳米轴向光子微腔器件的制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115903138B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211402560.0,技术领域涉及:G02B6/255;该发明授权蝙蝠型表面纳米轴向光子微腔器件的制作方法是由于琦;缪琦;李睿沣;胡俊;曹志刚;吕亮;俞本立设计研发完成,并于2022-11-10向国家知识产权局提交的专利申请。

蝙蝠型表面纳米轴向光子微腔器件的制作方法在说明书摘要公布了:本申请公开一种蝙蝠型表面纳米轴向光子微腔器件的制作方法,涉及光子器件加工领域,包括:将剥去涂覆层的光纤放置到二氧化碳激光熔接机水平对齐的V字型光纤夹具中固定,将光纤向两端外侧施加预应力使其处于抻紧状态;在光纤上确定蝙蝠型SNAP微腔左右耳翼的目标位置,控制V字型光纤夹具下方微型马达移动,将目标位置移动到二氧化碳激光熔接机的曝光位置,将光斑聚焦在目标位置处光纤表面;根据所需蝙蝠型SNAP微腔的轴向长度和耳翼的ERV高度确定二氧化碳激光曝光功率和曝光时间,分别在左右耳翼对应目标位置处曝光。本方案可利用二氧化碳激光熔接机快速精确的制备从微米到毫米量级轴向尺寸的蝙蝠型SNAP微腔,缩减时间和成本投入。

本发明授权蝙蝠型表面纳米轴向光子微腔器件的制作方法在权利要求书中公布了:1.一种蝙蝠型表面纳米轴向光子微腔器件的制作方法,其特征在于,所述方法包括: S1,将剥去涂覆层的光纤放置到二氧化碳激光熔接机的两个水平对齐的V字型光纤夹具中固定,将光纤分别向两端外侧施加预应力使其处于抻紧状态; S2,在光纤上确定蝙蝠型SNAP微腔的左耳翼和右耳翼的目标位置,并控制所述V字型光纤夹具下方的微型马达移动,将所述目标位置移动到所述二氧化碳激光熔接机的二氧化碳激光聚焦光束的曝光位置,并将光斑聚焦在所述目标位置处光纤的表面; S3,根据所需所述蝙蝠型SNAP微腔的轴向长度和耳翼的有效半径变化ERV高度确定二氧化碳激光曝光功率和曝光时间,分别在左耳翼和右耳翼对应的所述目标位置处进行曝光,以使目标位置处的光纤表面在激光曝光和受到的预应力作用下产生凸起,在两处凸起的光纤轴向区域形成所述蝙蝠型SNAP微腔; 步骤S3包括: 确定初始曝光功率、曝光时间以及二氧化碳激光加工参数,在光纤的所述目标位置进行初次曝光; 获取曝光后在所述目标位置的光纤表面产生的ERV高度,根据和目标ERV高度差调整曝光功率、曝光时间以及迭代曝光次数; 继续对所述目标位置进行迭代激光曝光,直至获取目标ERV高度的蝙蝠型耳翼,并记录耳翼曝光参数;其中,曝光功率与光纤直径呈负相关,与ERV高度呈正相关; 获取一侧蝙蝠型耳翼后,所述方法还包括: 控制两个所述微型马达同时向对侧待制作的蝙蝠型耳翼方向移动一个轴向长度,并将其确定为目标曝光位置;其中,所述轴向长度即为两侧耳翼最高处之间的轴向距离; 获取所述耳翼曝光参数,并基于所述耳翼曝光参数进行曝光,生成目标ERV高度的蝙蝠型耳翼。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人安徽大学,其通讯地址为:230000 安徽省合肥市经开区九龙路111号(安徽大学新区);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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