株式会社斯库林集团铃木圭获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理方法以及基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115732364B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211057834.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理方法以及基板处理装置是由铃木圭;鳅场真树设计研发完成，并于2022-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理方法以及基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供基板处理方法以及基板处理装置，所述基板处理方法包括：液膜形成工序，在基板的主面上形成含硫酸液体的液膜；含臭氧气体暴露工序，使能够容纳所述基板的处理室内充满含臭氧气体而使所述液膜暴露于含臭氧气体中；以及基板加热工序，在充满了含臭氧气体的所述处理室内配置有所述基板、并且在所述基板的主面形成有所述液膜的状态下，对所述基板进行加热。
本发明授权基板处理方法以及基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理方法，所述基板的主面上形成有有机膜，所述基板处理方法包括： 液膜形成工序，在基板的主面上形成含硫酸液体的液膜； 含臭氧气体暴露工序，使能够容纳所述基板的处理室内充满含臭氧气体而使所述液膜暴露于含臭氧气体，能够使含臭氧气体中的臭氧溶解于构成所述液膜的含硫酸液体中而在所述液膜中形成过二硫酸；以及 基板加热工序，在充满了含臭氧气体的所述处理室内配置有所述基板、并且在所述基板的主面形成有所述液膜且在所述液膜中形成有过二硫酸的状态下，对所述基板进行加热。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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