陕西科技大学苏莹获国家专利权
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龙图腾网获悉陕西科技大学申请的专利一种SiC纳米线网络功能薄膜及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115411141B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211003500.1,技术领域涉及:H10F71/00;该发明授权一种SiC纳米线网络功能薄膜及其制备方法和应用是由苏莹;丁利苹;娄瑞;刘雪冰;翟配郴;尉国栋设计研发完成,并于2022-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种SiC纳米线网络功能薄膜及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明属于半导体纳米线材料制备技术领域,公开了一种SiC纳米线网络功能薄膜及其制备方法和应用,所述制备方法为:将碳化硅纳米线在分散剂和导电溶质的作用下与溶剂A形成碳化硅纳米线的悬浮液;以碳化硅纳米线的悬浮液作为电泳沉积液,以衬底为阴极,经电泳沉积处理在衬底上沉积一层碳化硅纳米线薄膜A;采用等离子体射流对碳化硅纳米线薄膜A进行焊接处理,获得碳化硅纳米线薄膜B。本发明方法简单、成本低、效率高且安全易操作,对低维纳米结构具有一定的普适性,可在室温条件下,在不同衬底上制备薄膜,且制备的碳化硅纳米线薄膜均匀致密,能够用于制备SiC纳米光电器件。
本发明授权一种SiC纳米线网络功能薄膜及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种SiC纳米线网络功能薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤1,将碳化硅纳米线在分散剂和导电溶质的作用下,均匀分散于溶剂A中,获得碳化硅纳米线的悬浮液; 步骤2,以获得的碳化硅纳米线的悬浮液作为电泳沉积液,以衬底为阴极,于室温下进行电泳沉积处理,在衬底上沉积一层均匀且致密的碳化硅纳米线薄膜A; 步骤3,采用室温常压等离子体射流对碳化硅纳米线薄膜A进行焊接处理,将碳化硅纳米线薄膜A上交叉的纳米线焊接,获得碳化硅纳米线薄膜B; 所述焊接处理的工艺如下: 将碳化硅纳米线薄膜A置于室温常压等离子体射流下方,在二维平面内以5~20mms的速率移动碳化硅纳米线薄膜,焊接至碳化硅纳米线在许多不规则交联中连接起来; 将碳化硅纳米线薄膜B进行高温键合处理,获得纳米线间相互交联的碳化硅纳米线薄膜C,即获得所述SiC纳米线网络功能薄膜; 且所述高温键合的工艺为: 于500~1000℃的温度下,采用NH3等离子体对碳化硅纳米线薄膜B表面处理5~60min,随后在氩气保护下,于1000~1200℃的温度下恒温键合30~60min。
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