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长春理工大学王作斌获国家专利权

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龙图腾网获悉长春理工大学申请的专利一种亚纳米尺度的三维原子坐标测量方法及测量系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115112922B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210742621.1,技术领域涉及:G01Q60/00;该发明授权一种亚纳米尺度的三维原子坐标测量方法及测量系统是由王作斌;常泽文;董莉彤;姜晓琳;王莹;于添竹;张羽;宋正勋;陈玉娟;许红梅;翁占坤设计研发完成,并于2022-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。

一种亚纳米尺度的三维原子坐标测量方法及测量系统在说明书摘要公布了:本发明提出一种亚纳米尺度的三维原子坐标测量方法及测量系统。该方法可以实现原子精度的三维测量,为纳米技术的发展提供一种更精确的测量方法和系统。该发明以晶格材料的周期性原子晶格排布图案作为测量标尺,其主要组成部分有:以参考晶格材料和其探测系统组成的原子晶格测量标尺,三个轴的促动器,检测样品的探针扫描模块。每个轴上的纳米促动器都配有一个计数器,当该轴运动时,促动器带动计数器对原子晶格计数,然后将其结果用于反馈该轴的运动距离。该系统为从亚纳米级到纳米级的特殊应用需求提供精确的三维测量功能,实现具有原子晶格精度的宏观测量结果。

本发明授权一种亚纳米尺度的三维原子坐标测量方法及测量系统在权利要求书中公布了:1.一种亚纳米尺度的三维原子坐标测量方法,其特征在于:以晶格材料为基准,利用其晶格结构天然的原子晶格排布几何距离作为晶格测量标尺,对其晶格结构进行原子晶格排布图案的识别和原子晶格计数后,将三个所述晶格测量标尺按照X,Y,Z轴组合,建立一个以材料原子晶格距离为计量单位的三维坐标系,构成一个三轴晶格测量标尺;探针扫描模块以三个晶格测量标尺为轴,形成三轴的扫描轨迹,探针扫描模块的运动距离以该轴上晶格测量标尺的材料原子晶格距离为单位计数,三轴分别校准后,分别驱动三个轴的晶格测量标尺并利用探针扫描模块中的扫描探针针尖感应对待测样品进行定位,在三维坐标系内标记待测样品形貌坐标值,对待测样品进行扫描,以材料原子晶格距离计数的方式,在三维坐标系内标记待测样品表面形貌的参数位置,最后在三维坐标系内获得待测样品的三维形貌成像,其分辨率为材料原子晶格距离,在温度、湿度、气压和振动条件稳定的情况下材料原子晶格距离为常数,实现亚纳米尺度的宏观测量,输入晶格材料相应的晶格常数值,进一步获得待测样品的具体形貌参数。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人长春理工大学,其通讯地址为:130022 吉林省长春市卫星路7089号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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