上海中航光电子有限公司金慧俊获国家专利权
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龙图腾网获悉上海中航光电子有限公司申请的专利一种检测电路及检测线宽刻蚀量的方法、显示装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115236943B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210712142.5,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权一种检测电路及检测线宽刻蚀量的方法、显示装置是由金慧俊;王听海设计研发完成,并于2022-06-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种检测电路及检测线宽刻蚀量的方法、显示装置在说明书摘要公布了:本申请实施例提供一种检测电路及检测线宽刻蚀量的方法、显示装置,检测电路中,第一部分的第一端与第一电压信号线电连接、第二端与检测电路的输出端电连接;第二部分的第一端与第二电压信号线电连接、第二端与检测电路的输出端电连接;其中,第一部分包括第一走线,第一走线的第一端与第一部分的第一端电连接、第二端与第一部分的第二端电连接;第二部分包括第二走线,第二走线的第一端与第二部分的第一端电连接、第二端与第二部分的第二端电连接;沿第一方向,第一走线的宽度与第二走线的宽度不同,第一方向与第一部分和第二部分的排布方向相交。本申请可以根据检测电路的实际输出电压确定线宽刻蚀量的波动值,进而确定线宽的实际刻蚀量。
本发明授权一种检测电路及检测线宽刻蚀量的方法、显示装置在权利要求书中公布了:1.一种检测电路,用于检测线宽刻蚀量,其特征在于,所述检测电路包括第一部分和第二部分; 所述第一部分的第一端与第一电压信号线电连接、第二端与所述检测电路的输出端电连接;所述第二部分的第一端与第二电压信号线电连接、第二端与所述检测电路的输出端电连接; 其中,所述第一部分包括第一走线,所述第一走线的第一端与所述第一部分的第一端电连接、第二端与所述第一部分的第二端电连接;所述第二部分包括第二走线,所述第二走线的第一端与所述第二部分的第一端电连接、第二端与所述第二部分的第二端电连接;沿第一方向,所述第一走线的宽度与所述第二走线的宽度不同,所述第一方向与所述第一部分和所述第二部分的排布方向相交; 所述第一走线的数量与所述第二走线的数量不同。
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