深圳市赛弥康电子科技有限公司黄建华获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市赛弥康电子科技有限公司申请的专利一种具有双层输送功能的固晶机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120127042B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510603123.2,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权一种具有双层输送功能的固晶机是由黄建华;唐远明;吴伟正;唐桂华设计研发完成,并于2025-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有双层输送功能的固晶机在说明书摘要公布了:本发明涉及固晶机领域,公开了一种具有双层输送功能的固晶机,包括:固晶机主体、基板载台、双层输送机构、晶盘、定臂、摆臂、动态抵消机构、辅助稳定机构及直线电机;基板载台、双层输送机构及直线电机均设置在固晶机主体上,晶盘设置在双层输送机构上;直线电机滑台通过连接板与定臂固接,定臂与摆臂转动连接,动态抵消机构设置在摆臂上;摆臂传动配合有驱动件,当驱动件驱动摆臂进行旋转动作时,动态抵消机构的作用部分与摆臂产生相对的、方向相反的移动。本发明通过设置动态抵消机构降低摆臂惯性影响,辅助稳定机构在约束摆臂位置提升取晶固晶精准度的同时,利用半圆环内油液传导热量,降低部件损耗,保障运行可靠性。
本发明授权一种具有双层输送功能的固晶机在权利要求书中公布了:1.一种具有双层输送功能的固晶机,其特征在于,包括:固晶机主体(1)、基板载台(2)、双层输送机构(3)、晶盘(4)、定臂(5)、摆臂(6)、动态抵消机构(7)、辅助稳定机构(8)及直线电机(9); 所述基板载台(2)、双层输送机构(3)及直线电机(9)均设置在固晶机主体(1)上,所述晶盘(4)设置在双层输送机构(3)上; 所述直线电机(9)滑台通过连接板(10)与定臂(5)固接,所述定臂(5)与摆臂(6)转动连接,所述动态抵消机构(7)设置在摆臂(6)上; 所述摆臂(6)传动配合有驱动件,当驱动件驱动摆臂(6)进行旋转动作时,所述动态抵消机构(7)的作用部分与摆臂(6)产生相对的、方向相反的移动,以施加动态惯性力矩,在此过程中,辅助稳定机构(8)会对摆臂(6)在长度及竖直方向上的位置进行限制; 所述动态抵消机构(7)包括安装板(71)、从动锥形齿轮(72)、滚珠丝杠(73)、配重块(74)及导板(75),所述安装板(71)安装在摆臂(6)上,并与导板(75)固定连接,所述滚珠丝杠(73)转动设置在安装板(71)上,并与从动锥形齿轮(72)轴接,所述配重块(74)固定套装在滚珠丝杠(73)的移动台上,并与导板(75)滚动连接。
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