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龙图腾网获悉深圳市云在上半导体材料有限公司;湖南湘芯新材料有限公司申请的专利碳化硅聚焦环加工清洗机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120079628B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510572624.9，技术领域涉及：B08B3/02；该发明授权碳化硅聚焦环加工清洗机构是由张桂华;刘畅;伊小念;王天意设计研发完成，并于2025-05-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本碳化硅聚焦环加工清洗机构在说明书摘要公布了：本发明提供了碳化硅聚焦环加工清洗机构，包括清洗槽，还包括：翻转夹持机构，翻转夹持机构安装至清洗槽上；载台，载台顶面用于放置碳化硅聚焦环；清洗槽中部开设有圆通槽，载台嵌合安装至圆通槽内，翻转夹持机构翻转使载台在碳化硅聚焦环的推力向下移动；升降架，升降架安装至清洗槽上方，升降架连接有冲洗组件；升降架与载台之间连接有反向传动机构；反向传动机构设置有弹性复位部；吸液机构，吸液机构与圆通槽的周面连接，且吸液机构的输入端连接有连接环，连接环与反向传动机构连接。通过翻转夹持机构可进行自动翻转调节碳化硅聚焦环，以对调其上下两面，保障了上下两面均可得到冲洗，同时载台和冲洗组件进行自动避让。

本发明授权碳化硅聚焦环加工清洗机构在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅聚焦环加工清洗机构，包括清洗槽（2）以及固定安装至清洗槽（2）底部的支撑架（1），其特征在于，还包括： 翻转夹持机构（3），所述翻转夹持机构（3）安装至清洗槽（2）上； 载台（6），所述载台（6）顶面用于放置碳化硅聚焦环（13）；所述清洗槽（2）中部开设有圆通槽，所述载台（6）嵌合安装至圆通槽内，且翻转夹持机构（3）翻转使载台（6）在碳化硅聚焦环（13）的推力向下移动； 升降架（5），所述升降架（5）安装至清洗槽（2）上方，且升降架（5）连接有靠近碳化硅聚焦环（13）的冲洗组件（4）； 所述升降架（5）与载台（6）之间连接有反向传动机构（12）；所述反向传动机构（12）设置有弹性复位部； 吸液机构（7），所述吸液机构（7）与圆通槽的周面连接，且吸液机构（7）的输入端连接有连接环（10），所述连接环（10）与反向传动机构（12）连接； 所述吸液机构（7）的数目为若干个；所述吸液机构（7）包括筒体（703），所述筒体（703）的底端与平板（101）的顶面固接，所述筒体（703）内配合连接有活塞（705），所述活塞（705）顶部固接有活动杆（704），且活动杆（704）的顶端与连接环（10）固接，所述连接环（10）与第二齿条（1209）的顶端固接，所述筒体（703）内壁与活塞（705）的底面围成抽吸腔，所述筒体（703）的底部安装有第一单向阀（706）和第二单向阀（707），且第一单向阀（706）顶端和第二单向阀（707）顶端均与抽吸腔连通，所述第二单向阀（707）的底端连接有吸液管（702），所述吸液管（702）连接有吸液口（701），且吸液口（701）设置在圆通槽的周面上，若干个所述吸液机构（7）的吸液口（701）围成一圆环结构；所述反向传动机构（12）包括第一齿条（1206）和第二齿条（1209），所述第一齿条（1206）和第二齿条（1209）之间啮合连接有圆柱齿轮（1207），所述第二齿条（1209）的底端固接有连接杆（11），所述连接杆（11）与升降架（5）连接。

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