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龙图腾网获悉涌淳半导体(无锡)有限公司申请的专利一种基于光学膜厚自校准的高稳定性薄膜厚度测量装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120063140B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510542632.9，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权一种基于光学膜厚自校准的高稳定性薄膜厚度测量装置是由曹晓光;李峰;邵秋新;张同雷设计研发完成，并于2025-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于光学膜厚自校准的高稳定性薄膜厚度测量装置在说明书摘要公布了：本发明涉及厚度测量的技术领域，公开了一种基于光学膜厚自校准的高稳定性薄膜厚度测量装置，包括测量机，还包括与测量机固定连接的测量台和光学器，固定连接在测量台顶端底部的套壳，使得吸附杆顶端的圆孔能够对薄膜进行吸附，随后吸附杆受推动逐渐移动至吸附位，而在此移动期间多个吸附杆会向薄膜的四个直角处移动，从而进行拉动薄膜，使得薄膜平整，随后当吸附杆位于吸附位时将薄膜固定。通过多个吸附杆形成多点位拉伸，同时由于圆孔和分孔同时作用，在对薄膜进行吸附时，使薄膜能够快速、平整地铺展在测量台上，又不会因吸附力过大对薄膜造成损坏，并配合封闭杆将分孔封闭，增加圆孔的吸附力，有效将薄膜进行固定。

本发明授权一种基于光学膜厚自校准的高稳定性薄膜厚度测量装置在权利要求书中公布了：1.一种基于光学膜厚自校准的高稳定性薄膜厚度测量装置，包括测量机（1），其特征在于：还包括与测量机（1）固定连接的测量台（2）和光学器（3），固定连接在测量台（2）顶端底部的套壳（4），设置有两个且与测量台（2）固定连接的导向架（5），滑动连接在导向架（5）内部的连接杆（6），固定连接在连接杆（6）两端的吸附杆（7），设置在吸附杆（7）一侧的封闭杆（8），固定连接在套壳（4）底面的弧块（9），滑动连接在测量台（2）外部的套环（10），以及铰接在套环（10）和连接杆（6）之间的连杆（11），所述吸附杆（7）的一端开设有圆孔（71），所述吸附杆（7）靠近封闭杆（8）处等角度开设有多个分孔（72），所述圆孔（71）位于吸附杆（7）的顶端，所述光学器（3）的输出端位于测量台（2）的上方，所述套壳（4）位于测量机（1）的上方，所述套环（10）上移时通过连杆（11）和连接杆（6），使得多个所述吸附杆（7）的顶端与测量台（2）的顶面重合，所述吸附杆（7）包括吸附位，所述吸附杆（7）位于吸附位时将薄膜固定。

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