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龙图腾网获悉深圳市森美协尔科技有限公司申请的专利上下料装置及晶圆检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120072717B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510534358.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权上下料装置及晶圆检测系统是由王建勇;李宁设计研发完成，并于2025-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本上下料装置及晶圆检测系统在说明书摘要公布了：本申请提供了一种上下料装置及晶圆检测系统，包括机架机构、物料模组及升降机构，机架机构的顶部设有开口，物料模组对应开口设置，物料模组包括承载台机构和物料盒，物料盒设于承载台机构上，物料盒用于放置待测样品，升降机构对应开口设置，升降机构包括升降底板、升降导轨组件及承载件，升降底板设于机架机构上，升降导轨组件设于升降底板上且沿第一方向延伸，承载件沿第一方向滑动连接升降导轨组件，承载件承载物料模组，承载件能够带动物料模组沿第一方向移动，进而带动物料盒沿第一方向移动至相对开口露出。本申请的上下料装置能够直接通过中转装置对接天车装置，减小上下料装置的人工操作步骤，提高上下料装置的运输效率和检测效率。

本发明授权上下料装置及晶圆检测系统在权利要求书中公布了：1.一种上下料装置，其特征在于，包括： 机架机构，所述机架机构的顶部设有开口； 物料模组，所述物料模组对应所述开口设置，所述物料模组包括承载台机构和物料盒，所述物料盒设于所述承载台机构上，所述物料盒用于放置待测样品； 升降机构，所述升降机构对应所述开口设置，所述升降机构包括升降底板、升降导轨组件及承载件，所述升降底板设于所述机架机构上，所述升降导轨组件设于所述升降底板上且沿第一方向延伸，所述承载件沿所述第一方向滑动连接所述升降导轨组件，所述承载件承载所述物料模组，所述承载件能够带动所述物料模组沿所述第一方向移动，进而带动所述物料盒沿所述第一方向移动至相对所述开口露出； 所述承载台机构包括料盒感应模块，所述料盒感应模块包括承载板、第一感应组件、第二感应组件和第三感应组件，所述承载板用于承载所述物料盒，所述第一感应组件、所述第二感应组件和所述第三感应组件沿第二方向依次设于所述承载板上，所述第一感应组件用于抵接并感应第一尺寸的所述物料盒，所述第二感应组件用于抵接并感应第二尺寸的所述物料盒，所述第三感应组件用于抵接并感应第三尺寸的所述物料盒，其中，所述第二方向和所述第一方向垂直，所述第一尺寸小于所述第二尺寸，所述第二尺寸小于所述第三尺寸； 所述第一感应组件包括第一感应件和第一传感器，所述第一感应件包括第一感应块和第一感应片，所述第一感应块贯穿所述承载板；所述第二感应组件包括第二感应件和第二传感器，所述第二感应件包括第二感应块和第二感应片，所述第二感应块贯穿所述承载板；所述第三感应组件包括第三感应件和第三传感器，所述第三感应件包括第三感应块和第三感应片，所述第三感应块贯穿所述承载板； 所述料盒感应模块还包括设于所述承载板上的第一限位组件，所述物料盒包括底部拉杆；所述第一限位组件包括沿所述第二方向依次设置的第一限位块、第二限位块、第三限位块和第四限位块；所述第一限位块和所述第二限位块之间形成第一限位间隙，所述第一限位间隙用于收容第一尺寸的所述物料盒的所述底部拉杆，且所述第一感应块设于第一限位间隙内；所述第二限位块和所述第三限位块之间形成第二限位间隙，所述第二限位间隙用于收容第二尺寸的所述物料盒的所述底部拉杆，且所述第二感应块设于第二限位间隙内；所述第三限位块和所述第四限位块之间形成第三限位间隙，所述第三限位间隙用于收容第三尺寸的所述物料盒的所述底部拉杆，且所述第三感应块设于第三限位间隙内。

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