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杭州谱析光晶半导体科技有限公司许一力获国家专利权

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龙图腾网获悉杭州谱析光晶半导体科技有限公司申请的专利基于FinFET技术的MOSFET优化结构及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120076403B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510527100.8,技术领域涉及:H10D84/83;该发明授权基于FinFET技术的MOSFET优化结构及其制备方法是由许一力;李鑫;刘倩倩设计研发完成,并于2025-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。

基于FinFET技术的MOSFET优化结构及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及MOS半导体技术领域,且公开了基于FinFET技术的MOSFET优化结构及其制备方法,包括由若干个相互并列的MOS元胞构成,所述MOS元胞包括有漏极、半导体外延层、源极、栅极,所述半导体外延层内部包括N衬底层、N漂移层、N阱层、P阱层以及P‑层,单个所述MOS元胞内N衬底层的截面轮廓呈中间凸起形状;单个所述MOS元胞内部左侧的P‑层内设有若干个条形多晶硅,所述条形多晶硅仅与源极欧姆接触。本发明通过左侧P‑层的条形多晶硅与右侧块状多晶硅仅与源极欧姆接触,形成低阻通路,减少寄生电阻,提高导通电流密度,并且通过该多晶硅的分布设计,降低器件内部的电场集中,减少热载流子效应提升可靠性。

本发明授权基于FinFET技术的MOSFET优化结构及其制备方法在权利要求书中公布了:1.基于FinFET技术的MOSFET优化结构,包括由若干个相互并列的MOS元胞构成,所述MOS元胞包括有漏极(1)、半导体外延层、源极(2)、栅极(3),所述半导体外延层内部从下向上依次包括有N衬底层(4)、N漂移层(5)、P阱层(7)和N阱层(6),所述半导体外延层内还包括P-层(8),所述P-层(8)位于单个MOS元胞的两侧且与P阱层(7)接触,其特征在于:单个所述MOS元胞内N衬底层(4)的截面轮廓呈中间凸起形状; 单个所述MOS元胞内部左侧的P-层(8)内设有若干个条形多晶硅(9),所述条形多晶硅(9)仅与源极(2)欧姆接触; 单个所述MOS元胞内部右侧的P-层(8)内设有一个块状多晶硅(10),所述块状多晶硅(10)仅与源极(2)欧姆接触。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人杭州谱析光晶半导体科技有限公司,其通讯地址为:310000 浙江省杭州市萧山区瓜沥镇航钱路168号3幢4层405(自主分割);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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