新毅东(北京)科技有限公司张琪获国家专利权
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龙图腾网获悉新毅东(北京)科技有限公司申请的专利用于光栅板和基板的调节结构及其调节方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119987163B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510452198.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权用于光栅板和基板的调节结构及其调节方法是由张琪;符友银设计研发完成，并于2025-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于光栅板和基板的调节结构及其调节方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体加工工艺领域，提供一种用于光栅板和基板的调节结构及其调节方法。用于光栅板和基板的调节结构包括调节套筒，所述调节套筒的第一端形成有第一螺纹段，所述第一螺纹段用于与基板螺纹配合，所述调节套筒的第二端形成有第二螺纹段，所述第一螺纹段与所述第二螺纹段螺距不同；连接杆，所述连接杆的第一端与所述第二螺纹段螺纹配合，所述连接杆的第二端用于与光栅板柔性连接；检测件，用于检测所述光栅板和所述基板的参数信息；驱动件，与所述调节套筒传动连接，所述驱动件用于基于所述参数信息驱动所述调节套筒动作。该调节结构调节分辨率可达微米级别，在半导体加工过程中，光栅板对准时间可以大大缩短，调节效率高。
本发明授权用于光栅板和基板的调节结构及其调节方法在权利要求书中公布了：1.一种用于光栅板和基板的调节结构，其特征在于，包括： 调节套筒（100），所述调节套筒（100）的第一端形成有第一螺纹段（102），所述第一螺纹段（102）用于与基板螺纹配合，所述调节套筒（100）的第二端形成有第二螺纹段（104），所述第一螺纹段（102）与所述第二螺纹段（104）螺距不同； 连接杆（106），所述连接杆（106）的第一端与所述第二螺纹段（104）螺纹配合，所述连接杆（106）的第二端用于与光栅板柔性连接； 检测件（108），用于检测所述光栅板和所述基板的参数信息； 驱动件（110），与所述调节套筒（100）传动连接，所述驱动件（110）用于基于所述参数信息驱动所述调节套筒（100）动作。
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