之江实验室胡辰获国家专利权
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龙图腾网获悉之江实验室申请的专利光芯片集成模块及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119846775B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510338009.1,技术领域涉及:G02B6/13;该发明授权光芯片集成模块及其制造方法是由胡辰;李晨晖;李佳;张潜;顾佳新设计研发完成,并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本光芯片集成模块及其制造方法在说明书摘要公布了:本申请涉及光芯片集成模块及其制造方法。该方法包括:形成包括多个槽的中介结构;将至少两个光芯片分别设置于对应的槽;形成聚合物波导;以及将聚合物波导叠置于中介结构,以使一个光芯片通过聚合物波导连通至另一个光芯片。该方法易于执行,制造精度高,且工艺容差大。
本发明授权光芯片集成模块及其制造方法在权利要求书中公布了:1.用于制造光芯片集成模块的方法,其特征在于,包括: 形成包括多个槽的中介结构,包括:在中介层形成第一波导图案;然后形成覆盖所述第一波导图案和所述中介层的第一上包层,通过化学机械抛光形成表面平整的第一上包层,其中,所述表面平整的第一上包层仅覆盖所述中介层且至少覆盖所述中介层中邻近所述第一波导图案的一部分,或者,所述表面平整的第一上包层覆盖所述第一波导图案和所述中介层;及,形成多个贯穿所述第一上包层及所述第一波导图案并延伸入所述中介层的槽; 将至少两个光芯片分别设置于对应的槽; 形成多个聚合物波导;以及 将所述多个聚合物波导叠置于所述中介结构及对应的光芯片,以使一个光芯片通过对应的聚合物波导连通至所述第一波导图案,所述第一波导图案通过对应的聚合物波导连通至另一个光芯片。
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