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南京大学吴迪获国家专利权

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龙图腾网获悉南京大学申请的专利一种La掺杂氧化铪基铁电薄膜、电容器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119815842B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510276203.1,技术领域涉及:H10D1/68;该发明授权一种La掺杂氧化铪基铁电薄膜、电容器及其制备方法是由吴迪;卿明凯;矫佩杰设计研发完成,并于2025-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。

一种La掺杂氧化铪基铁电薄膜、电容器及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种La掺杂氧化铪基铁电薄膜、电容器及其制备方法,所述La掺杂氧化铪基铁电薄膜为单一(111)取向的正交相结构,制备方法为先在(111)取向钙钛矿衬底上外延生长取向一致的缓冲层,再在缓冲层表面外延生长La掺杂氧化铪基铁电薄膜层,得到La掺杂氧化铪基铁电薄膜,精确调控薄膜厚度,实现对La掺杂氧化铪基铁电薄膜性能的优化,满足电子器件对高性能铁电薄膜的需求。本发明提出的激光脉冲沉积外延La掺杂氧化铪基铁电薄膜纯度高、成膜均匀性好;同时操作工艺简单、能耗低、无污染并且易于实现工业化。

本发明授权一种La掺杂氧化铪基铁电薄膜、电容器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种La掺杂氧化铪基铁电薄膜,其特征在于,La掺杂氧化铪基铁电薄膜为单一(111)取向的正交相结构;La掺杂氧化铪基的La掺杂浓度为2~8at%;所述La掺杂氧化铪基铁电薄膜的制备方法为先在(111)取向钙钛矿衬底上外延生长取向一致的缓冲层,再在缓冲层表面外延生长La掺杂氧化铪基铁电薄膜层,得到La掺杂氧化铪基铁电薄膜。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南京大学,其通讯地址为:210009 江苏省南京市鼓楼区汉口路22号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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