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龙图腾网获悉昆山哈铂精密装备有限公司申请的专利一种半导体基板加工设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119876905B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510112211.2，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权一种半导体基板加工设备是由罗江龙;刘志锋;袁文奎设计研发完成，并于2025-01-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体基板加工设备在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体晶片加工技术领域，公开了一种半导体基板加工设备，包括设备主体，所述设备主体的内部靠下位置开设有限位导向槽，所述限位导向槽内活动设置有工装座，所述工装座的内部均匀分布有若干组托盘，每组所述托盘内均放置有半导体晶圆，所述设备主体的内部并位于托盘的上方对应设置有真空沉积管。本发明所述的一种半导体基板加工设备，启动伺服电机，经过一系列传动带动其中一组真空沉积管做匀速旋转运动，并且通过同步链轮和同步链轮的连接作用，使每一组真空沉积管同步旋转，一方面使真空沉积管的受热更为均匀，提高反应的速率，另一方面固体颗粒在下沉的过程中受到管壁的运动作用，无法附着，均匀分散，提高沉积的均匀度。

本发明授权一种半导体基板加工设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体基板加工设备，包括设备主体（1），其特征在于：所述设备主体（1）的内部靠下位置开设有限位导向槽（2），所述限位导向槽（2）内活动设置有工装座（3），所述工装座（3）的内部均匀分布有若干组托盘（10），每组所述托盘（10）内均放置有半导体晶圆（11），所述工装座（3）的后端中间位置处水平焊接有液压伸缩杆（4），所述液压伸缩杆（4）从液压缸（5）的内部向外延伸，所述液压缸（5）安装在尾座（6）上，所述尾座（6）铆接在设备主体（1）的后端面中间位置处； 所述设备主体（1）的前端面和限位导向槽（2）连通的位置开设有进出口（15），所述进出口（15）的两侧对称开设有凹槽（14），每组凹槽（14）内均安装有压气结构（8），所述工装座（3）的前端设置有密封板（12），所述密封板（12）的两端对称焊接有曲形压头（13）； 所述设备主体（1）的内部并位于托盘（10）的上方对应设置有真空沉积管（40），所述真空沉积管（40）的上端通过密封轴承（41）和混合筒（30）的下端面连接，所述真空沉积管（40）的中部设置有加热段（45），所述加热段（45）的外侧安装有加热器（46），所述加热器（46）的外侧面和设备主体（1）的内壁固定； 所述设备主体（1）的上端面中间位置处固定有混合筒（30），所述混合筒（30）的内部开设有混合腔，所述混合腔的底部开设有和每组真空沉积管（40）上端对应的气流通道，所述混合筒（30）的两侧分别设置有第一进气管（72）和第二进气管（74），所述第一进气管（72）和第二进气管（74）均与混合腔的内部连通； 所述真空沉积管（40）的上端部管内安装有曲形滚面板（42），曲形滚面板（42）的中间位置开设有堵塞气口（43），所述堵塞气口（43）上活动设置有堵塞球（44），戳柱（39）在向下运动的过程中穿过气流通道伸入到真空沉积管（40）内，作用在相对应的堵塞球（44）上； 每组所述真空沉积管（40）上并位于加热器（46）的下方套接有同步链轮（50），若干组所述同步链轮（50）统一由外链条（51）连接传动，其中一组所述真空沉积管（40）上还套接有大齿轮（52），所述大齿轮（52）和一侧啮合设置有小齿轮（53），所述小齿轮（53）套接在匀速电机（54）的输出轴上，所述匀速电机（54）固定设置在设备主体（1）的内部； 所述混合筒（30）的下端面中间位置处固定有管座（60），所述管座（60）的下端安装有环形集气管（61），所述环形集气管（61）的外管面一周均匀分布有若干组密封集气罩（62），每组所述密封集气罩（62）的端面中间位置开设有运动轨道（63），所述密封集气罩（62）的内部安装有和环形集气管（61）内部相连通的带孔隔板（64），所述带孔隔板（64）的中部向外延伸水平安装有滑杆（65），每组所述真空沉积管（40）的外侧靠上位置安装有和分别和密封集气罩（62）相作用的旋转式排气结构（9），所述旋转式排气结构（9）在运动轨道（63）内运动； 所述旋转式排气结构（9）包括支架（91）、曲形密封口（92）、凸面密封器（93）、弹簧卡槽（94）、连通内槽（95）和滑杆外槽（96），所述支架（91）固定在真空沉积管（40）的外侧面，所述支架（91）的中部贯穿开设有曲形密封口（92），所述曲形密封口（92）上安装有凸面密封器（93），所述支架（91）上并位于曲形密封口（92）的两侧对称开设有弹簧卡槽（94），所述支架（91）上并位于曲形密封口（92）上下端开设有连通内槽（95），所述连通内槽（95）和真空沉积管（40）的内部相连通，所述支架（91）的外端面开设有供滑杆（65）运动的滑杆外槽（96）； 所述凸面密封器（93）包括封口板（931）、连接片（932）、连接弹簧（933）和圆弧凸面（934），所述封口板（931）封堵在曲形密封口（92）处形成密封，所述封口板（931）的两侧设置有连接片（932），所述连接片（932）上固定有伸入弹簧卡槽（94）的连接弹簧（933），所述封口板（931）的中部外表面处设置有圆弧凸面（934），所述圆弧凸面（934）和滑杆（65）相作用。

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