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龙图腾网获悉国测量子科技(浙江)有限公司申请的专利一种等离子体发生容器的清洗系统和清洗方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120001727B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510076831.5，技术领域涉及：B08B7/00；该发明授权一种等离子体发生容器的清洗系统和清洗方法是由丁祝顺;张心清设计研发完成，并于2025-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种等离子体发生容器的清洗系统和清洗方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种等离子体发生容器的清洗系统和清洗方法，涉及玻璃电真空技术领域。该清洗系统包括主管、电源装置、供气模块、真空发生模块和压力检测装置，主管用于与等离子体发生容器连通；电源装置包括匹配网络、射频电源、感应电极和接地电极，感应电极设置于等离子体发生容器的外侧且环绕原子气室，用于产生高频电磁场；供气模块包括气源和供气阀，气源与主管连通，用于向等离子体发生容器充入高纯气体，供气阀设置于供气管路；真空发生模块包括真空泵，真空泵通过管路与主管连通；压力检测装置用于检测原子气室的气压。本申请的等离子体发生容器的清洗系统，可以有效提高原子气室内残余气体和杂质的清洁效果，保证原子气室的真空洁净度。

本发明授权一种等离子体发生容器的清洗系统和清洗方法在权利要求书中公布了：1.一种等离子体发生容器的清洗系统，所述等离子体发生容器（10）具有用于产生等离子体的原子气室（11），其特征在于，所述清洗系统包括： 主管（100），用于与等离子体发生容器（10）连通； 电源装置（200），包括匹配网络（210）、射频电源（220）、感应电极（230）和接地电极（240），所述匹配网络（210）、所述射频电源（220）以及所述感应电极（230）依次连接，所述感应电极（230）适于设置于等离子体发生容器（10）的外侧且环绕所述原子气室（11），所述感应电极（230）用于在所述原子气室（11）内产生高频电磁场，所述接地电极（240）与所述主管（100）连接； 供气模块（300），包括：气源（310）和供气阀（320），所述气源（310）通过供气管路与所述主管（100）连通，所述气源（310）用于通过所述主管（100）向所述等离子体发生容器（10）充入高纯气体，所述供气阀（320）设置于所述供气管路，并用于控制所述气源（310）的通断，高纯气体适于在高频电磁场作用下产生等离子体以清洗所述原子气室（11）； 真空发生模块（400），包括真空泵（410），所述真空泵（410）通过管路与所述主管（100）连通，以通过所述主管（100）将所述原子气室（11）抽气； 压力检测装置（500），用于检测所述原子气室（11）的气压。

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