成都纤声科技有限公司王韬获国家专利权
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龙图腾网获悉成都纤声科技有限公司申请的专利一种压电MEMS麦克风及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119183056B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411690678.7，技术领域涉及：H04R19/04；该发明授权一种压电MEMS麦克风及其制备方法是由王韬;向紫薰设计研发完成，并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种压电MEMS麦克风及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种压电MEMS麦克风及其制备方法，涉及半导体技术领域，包括具有空腔的基层，以及层叠于基层的空腔之上的复合振动层，复合振动层具有至少一个缝隙，缝隙沿层叠方向设置；缝隙有多个时，多个缝隙沿垂直于层叠方向的水平方向位于同一平面内；至少一个缝隙使复合振动层形成通过基层支撑的悬臂梁；由复合振动层向空腔的方向上，缝隙的开缝宽度逐渐减小。缝隙的开缝宽度由复合振动层向空腔的方向逐渐减小，缝隙形成一定的开缝宽度差，便于在缝隙的最底部获得尽可能小的开缝宽度；且由于缝隙在不同层形成开缝宽度差，使得缝隙在工艺上容易制备，能获得更小的开缝宽度，麦克风则具有更宽的低频响应，并且还能保证产品质量。
本发明授权一种压电MEMS麦克风及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种压电MEMS麦克风，其特征在于，包括：具有空腔的基层，以及层叠于所述基层的空腔之上的复合振动层，所述复合振动层具有至少一个缝隙，所述缝隙沿层叠方向设置；所述缝隙有多个时，多个所述缝隙沿垂直于所述层叠方向的水平方向并排位于同一平面内；至少一个所述缝隙使所述复合振动层形成通过所述基层支撑的悬臂梁；由所述复合振动层向所述空腔的方向上，所述缝隙的开缝宽度逐渐减小；沿所述层叠方向，所述缝隙形成阶梯式缝隙，所述缝隙至少成两层阶梯排列，至少两层所述阶梯由所述复合振动层向所述空腔方向至少两次光刻形成。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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