江苏集萃苏科思科技有限公司张凯获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏集萃苏科思科技有限公司申请的专利一种针对运动台上音圈电机对框架冲击的反力抵消机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223136809U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422601640.X,技术领域涉及:F16F15/02;该实用新型一种针对运动台上音圈电机对框架冲击的反力抵消机构是由张凯;罗岩;赵磊;陆海亮;张召设计研发完成,并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种针对运动台上音圈电机对框架冲击的反力抵消机构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及运动台技术领域,具体为一种针对运动台上音圈电机对框架冲击的反力抵消机构,包括框架以及设置所述框架顶部的大理石台,所述大理石台的侧表面上固定安装有多个音圈电机,所述框架的表面上固定安装有与多个音圈电机一一对应的固定支架,且每个固定支架与相对应的音圈电机之间设置有用于衰减音圈电机对框架冲击的弹性阻尼单元,弹性阻尼单元包括固定连接于音圈电机上的动子支架以及设于动子支架与固定支架之间的弹性阻尼组件。本实用新型通过在音圈电机和框架之间设置弹性阻尼单元,以柔性连接代替刚性连接,解决了音圈电机刚性冲击对框架和大理石台造成干扰,影响工作台模块上晶圆加工参数不达标的问题。
本实用新型一种针对运动台上音圈电机对框架冲击的反力抵消机构在权利要求书中公布了:1.一种针对运动台上音圈电机对框架冲击的反力抵消机构,其特征在于,包括框架(1)以及设置所述框架(1)顶部的大理石台(2),所述大理石台(2)的侧表面上固定安装有多个音圈电机(4),所述框架(1)的表面上固定安装有与多个音圈电机(4)一一对应的固定支架(5),且每个所述固定支架(5)与相对应的音圈电机(4)之间设置有用于衰减音圈电机(4)对框架(1)冲击的弹性阻尼单元(6),所述弹性阻尼单元(6)包括固定连接于所述音圈电机(4)上的动子支架(7)以及设于所述动子支架(7)与固定支架(5)之间的弹性阻尼组件(8); 所述动子支架(7)靠近于固定支架(5)的一侧开设有多个第一限位槽(9),所述固定支架(5)靠近于动子支架(7)的一侧开设有与多个第一限位槽(9)一一对应的第二限位槽(10),所述动子支架(7)的一侧面开设有与多个第一限位槽(9)一一相通的阶梯孔(11),所述固定支架(5)的表面开设有多个减重槽(12),多个所述减重槽(12)的内壁分别开设有与第二限位槽(10)相通的贯穿孔(13),且所述弹性阻尼组件(8)的两端分别对应设置在第一限位槽(9)和第二限位槽(10)内,所述弹性阻尼组件(8)的两端分别设置有连接部,两个所述连接部分别延伸至对应的阶梯孔(11)和减重槽(12)内,且所述阶梯孔(11)和减重槽(12)内均设置有用于稳固弹性阻尼组件(8)的固定组件。
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