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无锡圣堂科技有限公司杨加国获国家专利权

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龙图腾网获悉无锡圣堂科技有限公司申请的专利一种半导体加工过载监控装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223140056U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422531850.6,技术领域涉及:G05B19/042;该实用新型一种半导体加工过载监控装置是由杨加国设计研发完成,并于2024-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半导体加工过载监控装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体加工技术领域,尤其涉及一种半导体加工过载监控装置。包括圆形控速箱、环形注液箱和环形排液箱,环形注液箱和环形排液箱分别固定并连通在圆形控速箱的两侧,圆形控速箱开设有与环形注液箱连通的出液口,搅拌轴延伸部固定安装有位于圆形控速箱内的安装杆,安装杆固定安装有和圆形控速箱内壁贴合的弧形控速板,弧形控速板的横截面积大于所述出液口的横截面积。通过将电流监控以机械动能方式进行具体的转换,使得电流过载的监控方式,不在以单一的传感器作为监控手段,其可以作为监控电流过载问题的最后一道防线,其在传统的电流、电压传感器发生问题或者与控制系统之间的信号传输线路短路时,依旧能够监控电流过载的问题。

本实用新型一种半导体加工过载监控装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体加工过载监控装置,其特征在于,所述监控装置安装在圆晶清洗用搅拌器上,搅拌器的搅拌轴设有位于监控装置内的搅拌轴延伸部(7); 所述监控装置包括圆形控速箱(1)、环形注液箱(2)和环形排液箱(3),环形注液箱(2)和环形排液箱(3)分别固定并连通在圆形控速箱(1)的两侧,圆形控速箱(1)开设有与环形注液箱(2)连通的出液口(6),搅拌轴延伸部(7)固定安装有位于圆形控速箱(1)内的安装杆(8),安装杆(8)固定安装有和圆形控速箱(1)内壁贴合的弧形控速板(9),弧形控速板(9)的横截面积大于所述出液口(6)的横截面积; 所述环形排液箱(3)的底部固定并连通有环形流通箱(4),所述环形流通箱(4)上固定并连通有环形监控箱(5),所述环形监控箱(5)的顶部安装有液位传感器(11),所述液位传感器(11)设有阈值,当液位传感器(11)在设定时间点检测到液体达到设定液位时则表示未发生电流过载,当液位传感器(11)在设定时间点未检测到液体达到设定液位或提前达到液位则表示发生电流过载。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人无锡圣堂科技有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市开发区44-A地块新区泰山路2号国际科技合作园B楼1A-4座;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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