北京芯源科技有限公司闫占忠获国家专利权
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龙图腾网获悉北京芯源科技有限公司申请的专利一种离子注入机离子源吸极平行度检测校准装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223138609U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422483063.9,技术领域涉及:G01B11/26;该实用新型一种离子注入机离子源吸极平行度检测校准装置是由闫占忠;孙福奇;王丹;闫子东设计研发完成,并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种离子注入机离子源吸极平行度检测校准装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种离子注入机离子源吸极平行度检测校准装置,包括底座板以及转动连接在所述底座板上的调节板,所述调节板的四角通过水平调节结构连接有测距下平台,所述测距下平台上通过立柱连接测距上平台,所述测距上平台上设置有通槽,所述通槽内安装有激光测距传感器,测距下平台的上表面固定设置有用于连接吸极支架的固定支架。本实用新型在吸极组件组装过程中,可以对离子注入机离子源的吸极抑制电极和地电极进行精确的平行度检测,在对吸极部件进行常规的维护、清理和更新时,保证抑制电极和地电极的安装精确度,不仅可以缩短维护时间,而且能确保重新组装完成后的吸极部件符合设备性能规范要求、确保设备稳定运行。
本实用新型一种离子注入机离子源吸极平行度检测校准装置在权利要求书中公布了:1.一种离子注入机离子源吸极平行度检测校准装置,其特征在于,包括底座板以及转动连接在所述底座板上的调节板,所述调节板的四角通过水平调节结构连接有测距下平台,所述测距下平台上通过立柱连接测距上平台,所述测距上平台上设置有多个通槽,所述多个通槽内分别安装有激光测距传感器,测距下平台的上表面固定设置有用于连接吸极支架的固定支架。
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