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拉普拉斯(西安)科技有限责任公司祁文杰获国家专利权

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龙图腾网获悉拉普拉斯(西安)科技有限责任公司申请的专利加热组件以及镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223134576U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422462609.2,技术领域涉及:C23C16/44;该实用新型加热组件以及镀膜设备是由祁文杰;卢秋霞;孔琪设计研发完成,并于2024-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。

加热组件以及镀膜设备在说明书摘要公布了:本申请提供了一种加热组件以及镀膜设备,涉及半导体或光伏材料加工领域,解决了传统的加热丝更换费时费力的技术问题。该加热组件包括:框架组件、电极组件、第一导体组件、加热丝和第二导体组件。在更换加热丝时,可以将框架组件与工艺腔体分离,第一导体组件和或第二导体组件与电极组件分离,从而将框架组件和框架组件上安装的第一导体组件、加热丝和第二导体组件整体取出,再将预先准备的用于更换的框架组件和用于更换的框架组件上安装的第一导体组件、加热丝和第二导体组件整体放置于工艺腔室内,并将用于更换的框架组件与工艺腔体连接,以及用于更换的框架组件上的第一导体组件和或第二导体组件与电极组件连接,降低了加热丝的更换难度。

本实用新型加热组件以及镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种加热组件,其特征在于,应用于工艺腔体,所述工艺腔体具有工艺腔室; 其中,所述加热组件,包括: 框架组件,设置于所述工艺腔室,与所述工艺腔体可拆卸连接; 第一导体组件,所述第一导体组件与所述框架组件连接; 加热丝,所述加热丝与所述第一导体组件的第二端电连接,所述加热丝被配置为对所述工艺腔室进行加热; 第二导体组件,与所述框架组件连接,与所述第一导体组件在竖直方向上间隔设置,所述第二导体组件与所述加热丝电连接; 电极组件,至少部分位于所述工艺腔室内,且与供电装置电连接,被配置为提供电能,所述电极组件可拆卸连接于所述第一导体组件和或所述第二导体组件; 其中,所述供电装置、所述电极组件、至少一个所述第一导体组件、至少一个所述加热丝和至少一个所述第二导体组件形成一个闭合回路。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人拉普拉斯(西安)科技有限责任公司,其通讯地址为:713700 陕西省西安市西咸新区泾河新城崇文镇泾河三街76号光电子学研究与创新中心3号楼3-4层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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