拉普拉斯新能源科技股份有限公司何艾华获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯新能源科技股份有限公司申请的专利镀膜装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223134588U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422476018.0,技术领域涉及:C23C16/50;该实用新型镀膜装置是由何艾华;朱太荣设计研发完成,并于2024-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀膜装置在说明书摘要公布了:本公开涉及沉积镀膜技术领域,具体涉及一种镀膜装置,解决了镀膜装置的镀膜均匀性差的问题。该镀膜装置包括腔体、多组远程等离子体源、支撑组件、主动齿轮、驱动组件、多个从动齿轮和多个承载组件。多组远程等离子体源绕腔体的延伸方向的周向均布,并向腔体的腔室提供等离子体,以提高腔室内的等离子体的均匀性。镀膜装置利用支撑组件支撑主动齿轮、从动齿轮和承载组件,支撑组件转动以带动从动齿轮和承载组件绕支撑组件的转动轴线转动,主动齿轮与从动齿轮啮合,主动齿轮转动带动从动齿轮绕从动齿轮的自转轴线转动,从动齿轮带动承载组件转动,即承载组件能够公转和自转,使承载组件承载的产品公转和自转,提高了镀膜装置的镀膜均匀性。
本实用新型镀膜装置在权利要求书中公布了:1.一种镀膜装置,其特征在于,包括: 腔体,沿第一方向延伸,具有沿所述第一方向延伸的腔室,所述腔室被配置为容纳产品; 多组远程等离子体源,绕所述第一方向的周向均布,被配置为向所述腔室提供等离子体; 支撑组件,与所述腔体可转动连接,所述支撑组件的转动轴线与所述第一方向平行; 主动齿轮,与所述支撑组件连接; 驱动组件,与所述主动齿轮连接,被配置为驱动所述主动齿轮转动,以使所述主动齿轮带动所述支撑组件转动; 多个从动齿轮,分别与所述支撑组件可转动连接,并分别与所述主动齿轮啮合,所述从动齿轮的自转轴线与所述第一方向平行; 多个承载组件,设置于所述腔室,分别与多个所述从动齿轮连接,被配置为承载所述产品。
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