理想晶延半导体设备(上海)股份有限公司;理想晶延半导体设备(浙江)有限公司刘磊获国家专利权
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龙图腾网获悉理想晶延半导体设备(上海)股份有限公司;理想晶延半导体设备(浙江)有限公司申请的专利一种可拆卸式舟页及石墨舟获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223134587U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422427057.1，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型一种可拆卸式舟页及石墨舟是由刘磊;夏帅;秦金鹏;王雪楠;奚明设计研发完成，并于2024-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可拆卸式舟页及石墨舟在说明书摘要公布了：本实用新型涉及管式镀膜设备，提供一种可拆卸式舟页及石墨舟，舟页包括第一舟页本体和第二舟页本体，第一舟页本体长度方向间隔设有的若干安装孔位，安装孔位贯穿第一舟页本体；第二舟页本体可拆卸设置于安装孔位内，第二舟页本体顶面低于所述第一舟页本体顶面，所述第二舟页本体顶面适于放置硅片，使得所述硅片底部相对位于所述第二舟页本体顶面和所述第一舟页本体顶面之间。本实用新型的第二舟页本体可拆卸安装于第一舟页本体的安装孔位内，清洗舟页时不需要再将整个第一舟页本体拆装后进行清洗，只需将第二舟页本体从第一舟页本体上取下进行清洗即可；硅片底面相对位于安装孔位内部，降低硅片底面发生绕镀风险，减少后续对硅片底面的研磨工序。
本实用新型一种可拆卸式舟页及石墨舟在权利要求书中公布了：1.一种可拆卸式舟页，其特征在于，包括： 第一舟页本体，所述第一舟页本体适于水平放置且所述第一舟页本体长度方向间隔设有的若干安装孔位，所述安装孔位贯穿所述第一舟页本体； 第二舟页本体，所述第二舟页本体可拆卸设置于所述安装孔位内，所述第二舟页本体顶面低于所述第一舟页本体顶面，所述第二舟页本体顶面适于放置硅片，使得所述硅片底部相对位于所述第二舟页本体顶面和所述第一舟页本体顶面之间，所述第二舟页本体底面与所述第一舟页本体底面齐平。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人理想晶延半导体设备(上海)股份有限公司;理想晶延半导体设备(浙江)有限公司，其通讯地址为：201614 上海市松江区思贤路3255号3幢402室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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