左蓝微(江苏)电子技术有限公司孙亚军获国家专利权
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龙图腾网获悉左蓝微(江苏)电子技术有限公司申请的专利芯片良率检测方法及其系统、计算机设备、计算机可读存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119247098B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411381063.6,技术领域涉及:G01R31/28;该发明授权芯片良率检测方法及其系统、计算机设备、计算机可读存储介质是由孙亚军设计研发完成,并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本芯片良率检测方法及其系统、计算机设备、计算机可读存储介质在说明书摘要公布了:本发明涉及芯片检测技术领域,特别涉及一种芯片良率检测方法及其系统、计算机设备、计算机可读存储介质,步骤如下:识别晶圆上各器件的测试SNP文件,将SNP文件转化为测试数据;自定义SPEC文件,SPEC文件的自定义内容包括dB值、测试项、各测试项下的最大值及最小值;读取测试数据,根据SPEC文件定义的测试项相应计算各测试项下的测试值,并将测试值与对应测试项下的最大值和最小值比较,获取各测试项的测试结果,根据各测试项的测试结果,来判定该器件是否合格;根据各器件的合格状态来计算整片晶圆的良率,并输出良率数据文件;本发明自动检测及统计,通用性强,且良率检测及统计的可靠性高。
本发明授权芯片良率检测方法及其系统、计算机设备、计算机可读存储介质在权利要求书中公布了:1.一种芯片良率检测方法,其特征在于,步骤如下: S1、识别晶圆上各器件的SNP文件,将SNP文件转化为测试数据;其中,测试数据为若干个频率点及其对应的若干个dB值; S2、自定义SPEC文件,SPEC文件的自定义内容包括dB值、测试项、各测试项下的最大值及最小值;其中,测试项包括最小插损、左肩频率、右肩频率、带宽和中心频率; S3、读取测试数据,根据SPEC文件定义的测试项相应计算各测试项下的测试值,并将测试值与对应测试项下的最大值和最小值比较,获取各测试项的测试结果,根据各测试项的测试结果,来判定该器件是否合格; S4、根据步骤S3中各器件的合格状态来计算整片晶圆的良率,并输出良率数据文件; 所述dB值的自定义规则如下: 获取SNP文件中的最大dB值,设置预设dB值,将最大dB值和预设dB值相加,得到自定义dB值,若自定义dB值在SNP文件中存在对应的dB值,则确定该dB值所对应的频率点;若自定义dB值在SNP文件中不存在对应的dB值,则进行线性化处理; 其中,所述线性化处理的步骤如下: 以自定义dB值为基点,在SNP文件所转化的测试数据中,依据测试项中定义的规则向低频处高频处进行频率点的搜寻,获取到自定义dB值的正负相邻的两个频率点A和频率点B,其中频率点A的dB值小于自定义dB值,且频率点B的dB值大于自定义dB值,以频率点A和频率点B为端点进行线性化,根据线性化函数计算出自定义dB值所对应的频率点。
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