深圳市矩阵多元科技有限公司黎佐兴获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利一种磁控管实时运动在线监控保护装置及磁控溅射设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223134562U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422401161.3，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种磁控管实时运动在线监控保护装置及磁控溅射设备是由黎佐兴;杨福满;罗敏;杨洪生;朱新华;张晓军设计研发完成，并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控管实时运动在线监控保护装置及磁控溅射设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种磁控管实时运动在线监控保护装置及磁控溅射设备，磁控管实时运动在线监控保护装置包括：磁控管腔；磁控管，位于磁控管腔内部，磁控管上安装有激光反射部；驱动组件，与磁控管连接，用于驱动磁控管沿第一方向运动；激光测距装置，包括激光测距器，激光测距器用于向激光反射部发射激光，并接收激光反射部反射的激光，以获取磁控管至激光测距器的距离信息。本实用新型能够实时检测电机正常运转时磁控管的运动状态，确定磁控管是否在运动，从而能够更为直接地判断是否发生故障，能够避免因联轴器损坏失效未及时报警带来的工艺废片损失。
本实用新型一种磁控管实时运动在线监控保护装置及磁控溅射设备在权利要求书中公布了：1.一种磁控管实时运动在线监控保护装置，其特征在于，包括： 磁控管腔； 磁控管，位于所述磁控管腔内部，所述磁控管上安装有激光反射部； 驱动组件，与所述磁控管连接，用于驱动所述磁控管沿第一方向运动； 激光测距装置，包括激光测距器，所述激光测距器用于向所述激光反射部发射激光，并接收所述激光反射部反射的激光，以获取所述磁控管至所述激光测距器的距离信息。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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