乐金显示光电科技(中国)有限公司周向阳获国家专利权
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龙图腾网获悉乐金显示光电科技(中国)有限公司申请的专利气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223134575U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422415901.9，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型气相沉积设备是由周向阳设计研发完成，并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本气相沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于显示装置制造技术领域，公开了一种气相沉积设备，包括设置于中转室的腔底的放置架和除尘装置，基板存放于放置架上，除尘装置包括驱动件、除尘盒以及吸尘组件，除尘盒设置于驱动件的驱动端，中转室的腔底为中转腔底，除尘盒与中转腔底间隔，且除尘盒朝向中转腔底一侧开设有容纳槽，容纳槽的长度沿第一方向延伸，容纳槽内设置有吸尘组件，驱动件与除尘盒传动连接，带动除尘盒及吸尘组件沿第二方向移动对中转腔底进行除杂。本实用新型的气相沉积设备通过在中转室内设置除尘装置，实现中转室内环境的自动除尘，保证中转室良好的作业环境，减少基板在中转室内暂存而被粉尘污染的情况发生，从而提升基板的沉积良率。
本实用新型气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种气相沉积设备，包括机械手和依次设置的备样室、中转室和沉积室，所述机械手用于将所述备样室的基板放置至所述中转室暂存以及用于将所述中转室内暂存的所述基板放置至所述沉积室进行沉积，其特征在于，还包括设置于所述中转室的腔底的放置架和除尘装置，所述基板存放于所述放置架上，所述除尘装置位于所述放置架的下方，所述除尘装置包括驱动件、除尘盒以及吸尘组件，所述除尘盒设置于所述驱动件的驱动端，所述中转室的腔底为中转腔底，所述除尘盒与所述中转腔底间隔，且所述除尘盒朝向所述中转腔底一侧开设有容纳槽，所述容纳槽的长度沿第一方向延伸，所述容纳槽内设置有所述吸尘组件，所述驱动件与所述除尘盒传动连接，带动所述除尘盒及所述吸尘组件沿第二方向移动对所述中转腔底进行清洁，其中，所述第一方向与所述第二方向垂直设置。
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