拓荆科技(上海)有限公司高鑫洲获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉拓荆科技(上海)有限公司申请的专利一种温度控制系统及原子层沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223134589U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422415403.4，技术领域涉及：C23C16/52；该实用新型一种温度控制系统及原子层沉积设备是由高鑫洲;吴凤丽;关帅设计研发完成，并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种温度控制系统及原子层沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种温度控制系统及原子层沉积设备，该温度控制系统应用于原子层沉积设备，所述原子层沉积设备包括反应腔，所述温度控制系统包括：加热部，设置于反应腔的一侧；冷却部，设置于加热部远离所述反应腔的一侧，其中，所述加热部和冷却部中的至少一个为活动设置；调节部，与加热部和或冷却部连接，用于调节加热部和冷却部之间的间距；控制单元，与调节部连接，用于采集加热部的加热温度，并根据加热温度对调节部进行控制，以调节加热部和冷却部之间的间距。本实用新型通过控制单元采集加热部的加热温度，然后根据加热温度对调节部进行调节，从而调节加热部和冷却部之间的间距，如此便可以实现对于原子层沉积设备的精准加热控制。
本实用新型一种温度控制系统及原子层沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种温度控制系统，应用于原子层沉积设备，所述原子层沉积设备包括反应腔，其特征在于，所述温度控制系统包括： 加热部，设置于所述反应腔的一侧； 冷却部，设置于所述加热部远离所述反应腔的一侧，其中，所述加热部和冷却部中的至少一个为活动设置； 调节部，与所述加热部和或冷却部连接，用于调节所述加热部和冷却部之间的间距； 控制单元，与所述调节部连接，用于采集所述加热部的加热温度，并根据所述加热温度对所述调节部进行控制，以调节所述加热部和冷却部之间的间距。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓荆科技(上海)有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区鸿音路1211号10幢304室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励