安徽崇盛光电科技有限公司王建东获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽崇盛光电科技有限公司申请的专利一种薄膜晶体管生产的光刻装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223140024U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422392158.X，技术领域涉及：G03F7/30；该实用新型一种薄膜晶体管生产的光刻装置是由王建东设计研发完成，并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种薄膜晶体管生产的光刻装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于薄膜晶体管生产技术领域，具体为一种薄膜晶体管生产的光刻装置，包括光刻设备，所述光刻设备的正面分别设置有储水箱和过滤壳，储水箱的背面与光刻设备的输出端固定连通，储水箱的正面固定连通有连通管，过滤壳的背面与连通管远离储水箱的一端固定连通，过滤壳的正面固定连通有水泵，过滤壳的上方设置有流量计，流量计的感应端贯穿过滤壳并延伸至过滤壳的内部，具体为本实用新型首先通过水泵的工作，能够使光刻设备产生的废水经过储水箱、连通管和过滤壳流向废水收集管道内，同时利用过滤壳内的过滤板，能够将废水进行过滤，并通过流量计，能够感应过滤壳内水流通的水量，从而可及时判断过滤板是否需要更换或清洗。
本实用新型一种薄膜晶体管生产的光刻装置在权利要求书中公布了：1.一种薄膜晶体管生产的光刻装置，包括光刻设备1，其特征在于：所述光刻设备1的正面分别设置有储水箱2和过滤壳3，所述储水箱2的背面与光刻设备1的输出端固定连通，所述储水箱2的正面固定连通有连通管7，所述过滤壳3的背面与连通管7远离储水箱2的一端固定连通，所述过滤壳3的正面固定连通有水泵6，所述过滤壳3的上方设置有流量计9，所述流量计9的感应端贯穿过滤壳3并延伸至过滤壳3的内部，所述过滤壳3的内壁固定连接有滑槽架16，所述滑槽架16的内部滑动连接有过滤板15。
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