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陕西美兰德新材料股份有限公司;西安美兰德新材料有限责任公司梁钊获国家专利权

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龙图腾网获悉陕西美兰德新材料股份有限公司;西安美兰德新材料有限责任公司申请的专利一种沉积气体预热装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223134583U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422389551.3,技术领域涉及:C23C16/455;该实用新型一种沉积气体预热装置是由梁钊;孙勇;侯光远;李志保;贾武林设计研发完成,并于2024-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

一种沉积气体预热装置在说明书摘要公布了:本申请涉及一种沉积气体预热装置,涉及化学气相沉积技术领域,其包括炉体、第一预热件和第二预热件;第一预热件和第二预热件均位于炉体内,炉体底壁沿第一方向开设有送气口,第一预热件沿第一方向开设有第一进气口,送气口与第一进气口连通,第一预热件沿第二方向贯穿开设有第一通槽,第二方向垂直于第一方向,第二预热件套设于第一预热件,第一预热件与第二预热件之间具有第一预热间隙,第一通槽连通于第一预热间隙;第二预热件与炉体内壁之间具有第二预热间隙,第二预热件沿第二方向贯穿开设有第二通槽,第二通槽与第一通槽连通,且与第二预热间隙连通。本申请具有能够对气体提前预热的效果。

本实用新型一种沉积气体预热装置在权利要求书中公布了:1.一种沉积气体预热装置,其特征在于:包括炉体1、第一预热件2和第二预热件3; 所述第一预热件2和所述第二预热件3均位于所述炉体1内,所述炉体1底壁沿第一方向开设有送气口11,所述第一预热件2沿第一方向开设有第一进气口21,所述送气口11与所述第一进气口21连通,所述第一预热件2沿第二方向贯穿开设有第一通槽22,第二方向垂直于第一方向,所述第二预热件3套设于所述第一预热件2,所述第一预热件2与所述第二预热件3之间具有第一预热间隙23,所述第一通槽22连通于所述第一预热间隙23; 所述第二预热件3与所述炉体1内壁之间具有第二预热间隙32,所述第二预热件3沿第二方向贯穿开设有第二通槽31,所述第二通槽31与所述第一通槽22连通,且与所述第二预热间隙32连通。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人陕西美兰德新材料股份有限公司;西安美兰德新材料有限责任公司,其通讯地址为:710000 陕西省西安市经济技术开发区渭北新城秦王二路2299号2号厂房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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