泰科天润半导体科技(北京)有限公司周海获国家专利权
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龙图腾网获悉泰科天润半导体科技(北京)有限公司申请的专利一种变掺杂高可靠平面栅碳化硅VDMOS获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223142392U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422376634.9,技术领域涉及:H10D30/66;该实用新型一种变掺杂高可靠平面栅碳化硅VDMOS是由周海;施广彦;胡臻;何佳设计研发完成,并于2024-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种变掺杂高可靠平面栅碳化硅VDMOS在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种变掺杂高可靠平面栅碳化硅VDMOS,包括:漂移层连接至碳化硅衬底;第一N型区连接至漂移层;第二N型区连接至漂移层;第三N型区连接至漂移层;第二N型区外侧面连接至第一N型区内侧面,第二N型区内侧面连接至第三N型区外侧面;P型阱区下侧面连接至第二N型区,P型阱区外侧面连接至第一N型区内侧面,P型阱区内侧面连接至第三N型区外侧面;P型阱区上设有N型源区;栅介质层分别连接P型阱区、N型源区以及第三N型区;源极金属层分别连接第一N型区、P型阱区以及N型源区;栅极金属层连接至栅介质层;漏极金属层连接至碳化硅衬底下侧面,使得电流在器件内部均匀分布,避免热量集中,提高器件可靠性。
本实用新型一种变掺杂高可靠平面栅碳化硅VDMOS在权利要求书中公布了:1.一种变掺杂高可靠平面栅碳化硅VDMOS,其特征在于:包括: 碳化硅衬底, 漂移层,所述漂移层下侧面连接至所述碳化硅衬底上侧面; 第一N型区,所述第一N型区下侧面连接至所述漂移层上侧面; 第二N型区,所述第二N型区下侧面连接至所述漂移层上侧面; 第三N型区,所述第三N型区下侧面连接至所述漂移层上侧面;所述第二N型区外侧面连接至第一N型区内侧面,所述第二N型区内侧面连接至所述第三N型区外侧面; P型阱区,所述P型阱区下侧面连接至所述第二N型区,所述P型阱区外侧面连接至第一N型区内侧面,所述P型阱区内侧面连接至所述第三N型区外侧面;所述P型阱区上设有N型源区; 栅介质层,所述栅介质层下侧面分别连接所述P型阱区上侧面、N型源区上侧面以及第三N型区上侧面; 源极金属层,所述源极金属层分别连接第一N型区、P型阱区以及N型源区; 栅极金属层,所述栅极金属层连接至栅介质层; 以及,漏极金属层,所述漏极金属层连接至所述碳化硅衬底下侧面。
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