深圳劲嘉聚能科技有限公司于钦芳获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳劲嘉聚能科技有限公司申请的专利一种线性蒸发源获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223134550U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422294594.3,技术领域涉及:C23C14/24;该实用新型一种线性蒸发源是由于钦芳;罗万里设计研发完成,并于2024-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种线性蒸发源在说明书摘要公布了:本实用新型提供的一种线性蒸发源,包括坩埚,所述坩埚包括坩埚埚体和坩埚埚盖,所述坩埚埚盖盖设于所述坩埚埚体上,所述坩埚埚盖上设置有上下贯通的开口,所述开口于所述坩埚埚盖的上顶面的出口小于所述开口于所述坩埚埚盖的下底面的入口,在所述坩埚埚盖上,所述开口的横切面为梯形。在坩埚埚体上方设置有一个坩埚埚盖,该坩埚埚盖具有一定厚度,坩埚埚盖上形成有向上的开口,这个开口负责让坩埚埚体内的待镀材料融化后气化通过这个开口喷出,直接喷到需要镀层的目标薄膜上,因为坩埚埚体只有坩埚埚盖这个开口,因而内部气压大,而且这种狭长的梯形结构使得蒸发出的气体输出更快且稳定,这样的方式有利于使得获得的薄膜与待镀材料结合力更高。
本实用新型一种线性蒸发源在权利要求书中公布了:1.一种线性蒸发源,其特征在于,包括坩埚,所述坩埚包括坩埚埚体和坩埚埚盖,所述坩埚埚盖盖设于所述坩埚埚体上,所述坩埚埚盖上设置有上下贯通的开口,所述开口于所述坩埚埚盖的上顶面的出口小于所述开口于所述坩埚埚盖的下底面的入口,在所述坩埚埚盖上,所述开口的横切面为梯形。
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