常州捷佳创智能装备有限公司左国军获国家专利权
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龙图腾网获悉常州捷佳创智能装备有限公司申请的专利排废装置、烘干炉及排废系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223138286U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421689865.9,技术领域涉及:F26B25/00;该实用新型排废装置、烘干炉及排废系统是由左国军;胡永涛;吴勇茂;钟文魁;雷福平;张琪设计研发完成,并于2024-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本排废装置、烘干炉及排废系统在说明书摘要公布了:本实用新型属于硅片烘干技术领域,具体涉及一种排废装置、烘干炉及排废系统,本排废装置包括排废管;以及排废机构,其上设置有气腔室,所述气腔室的底部竖直设置有若干进气管;其中各所述进气管伸入烘干炉的温区以形成若干风道,通过各风道与排废管相通,由风机抽出硅片烘干产生的废气。通过设置多个进气管伸入不同的烘干温区,以形成若干风道,多个进气管可充分抽风排出废气,有助于实现烘干炉内不同区域的温度和气流均匀性,可以更有效地从各个温区抽取废气,从而提高整体的排废效率从而保证硅片烘干的均匀性。
本实用新型排废装置、烘干炉及排废系统在权利要求书中公布了:1.一种排废装置,其特征在于,包括: 排废管(100);以及 排废机构(200),其上设置有气腔室(210),所述气腔室(210)的底部竖直设置有若干进气管(220);其中 各所述进气管(220)伸入烘干炉的温区以形成若干风道,通过各风道与排废管(100)相通,由风机(300)抽出物料烘干产生的废气。
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