中国科学院长春光学精密机械与物理研究所王建立获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利一维表面形貌测量系统及其测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115342749B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211020383.X,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权一维表面形貌测量系统及其测量方法是由王建立;王之一;王廷煜;杨永强;糜小涛;杨禹凯;全胜;姚凯男;刘昌华设计研发完成,并于2022-08-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一维表面形貌测量系统及其测量方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种一维表面形貌测量系统及其测量方法,其中的测量装置包括差动共焦测距模块和色散测角模块;在待测物的表面形貌的测量过程中:首先通过差动共焦测距模块将待测物表面的待测位置移动至预设测量位置;再通过色散测角模块对待测位置的峰值波长进行提取,最后通过倾斜角度θ与峰值波长λ的关系θ=Fλ确定待测位置的倾斜角度。本发明利用待测位置不同的倾斜角度,会对色散光束产生不同的水平偏移,光谱仪接收到的光谱信号会有不同的峰值波长,从而测算出待测位置的倾斜角度。
本发明授权一维表面形貌测量系统及其测量方法在权利要求书中公布了:1.一种一维表面形貌测量系统,其特征在于,包括差动共焦测距模块和色散测角模块;在待测物的表面形貌的测量过程中:首先通过所述差动共焦测距模块将待测物表面的待测位置移动至预设测量位置;再通过所述色散测角模块对所述待测位置的峰值波长进行提取,最后通过倾斜角度θ与峰值波长λ的关系θ=Fλ确定所述待测位置的倾斜角度; 所述差动共焦测距模块包括:第一光源装置、第一分光棱镜、第二分光棱镜、第一聚光镜、第三分光棱镜、第四分光棱镜、第一探测器装置和第二探测器装置; 所述第一光源装置用于发出一束准直激光光束,所述准直激光光束依次经过所述第一分光棱镜、所述第二分光棱镜的透射和所述第一聚光镜的汇聚后对所述待测物的表面进行照射; 所述准直激光光束经过所述待测物的反射后经过第一聚光镜的透射、所述第二分光棱镜的反射以及第三分光棱镜的透射后,入射至所述第四分光棱镜; 所述第四分光棱镜将所述准直激光光束分为互相垂直的焦前测量光束和焦后测量光束分别入射至所述第一探测器装置和第二探测器装置; 所述第一光源装置为单波长光源; 所述单波长光源用于发出一束直径为d,波长为λ的准直激光光束; 所述第一聚光镜设置有传动装置,用于实现再所述准直激光光束的入射光方向上的垂直移动; 经所述第四分光棱镜反射后出射的光束为焦前测量光束,入射至所述第一探测器装置; 经所述第四分光棱镜透射后出射的光束为焦后测量光束,入射至所述第二探测器装置; 所述第一探测器装置包括:第二聚光镜、焦前针孔和焦前光电传感器; 所述第二探测器装置包括:第三聚光镜、焦后针孔和焦后光电传感器; 所述焦前测量光束经过所述第二聚光镜的汇聚后,经所述焦前针孔后入射至所述焦前光电传感器; 所述焦前针孔放置在f-u m的位置,其中f为所述第二聚光镜的焦距; 所述焦后测量光束经过所述第三聚光镜的汇聚后,经所述焦后针孔后入射至所述焦后光电传感器; 所述焦后针孔放置在f+u m的位置,其中f为所述第三聚光镜的焦距。
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