新烯科技有限公司佐藤英儿获国家专利权
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龙图腾网获悉新烯科技有限公司申请的专利成膜装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115725955B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210985436.5，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权成膜装置是由佐藤英儿;坂本仁志设计研发完成，并于2022-08-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本成膜装置在说明书摘要公布了：提供一种成膜装置，其能够高效地产生通过ALD在反应容器内的对象物形成金属氧化膜或金属氮化膜所需的反应性高的OH自由基或NH自由基，能够提高成膜效率。成膜装置10将金属化合物气体和OH自由基或NH自由基交替地导入反应容器20内，通过原子层沉积形成金属氧化膜或金属氮化膜，该成膜装置10包括：第1气体源40，其供给氧或氮；第2气体源50，其供给氢；第3气体源60，其供给载气；第1配管32，其使第1气体源和第3气体源与反应容器连通；第1等离子体生成部44，其生成包含从氧或氮解离的氧自由基或氮自由基的等离子体；第2配管52，其使第2气体源和第3气体源与上述反应容器连通；和第2等离子体生成部54，其生成包含从氢解离的氢自由基的等离子体。
本发明授权成膜装置在权利要求书中公布了：1.一种成膜装置，其将金属化合物气体和OH自由基或NH自由基交替地导入反应容器内，通过原子层沉积形成金属氧化膜或金属氮化膜， 该成膜装置包括： 第1气体源，其供给氧或氮； 第2气体源，其供给氢； 第3气体源，其供给载气； 第1配管，其使所述第1气体源和所述第3气体源与所述反应容器连通； 第1等离子体生成部，其设置于所述第1配管，生成包含从所述氧或所述氮解离的氧自由基或氮自由基的等离子体； 第2配管，其使所述第2气体源和所述第3气体源与所述反应容器连通；和 第2等离子体生成部，其设置于所述第2配管，生成包含从所述氢解离的氢自由基的等离子体， 使所述氧自由基与所述氢自由基碰撞而生成所述OH自由基，或使所述氮自由基与所述氢自由基碰撞而生成所述NH自由基。
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