陕西铟杰半导体有限公司黄小华获国家专利权
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龙图腾网获悉陕西铟杰半导体有限公司申请的专利一种大尺寸高纯磷化铟多晶半导体材料合成用石英制品获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223150695U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521230601.1,技术领域涉及:C30B28/14;该实用新型一种大尺寸高纯磷化铟多晶半导体材料合成用石英制品是由黄小华;陈龙;刘志勇设计研发完成,并于2025-06-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大尺寸高纯磷化铟多晶半导体材料合成用石英制品在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体材料技术领域,公开了一种大尺寸高纯磷化铟多晶半导体材料合成用石英制品,包括石英管,石英管顶部设置有凸槽,且石英管与凸槽的一端设置有石英帽,凸槽两端处均固定连接有固定块,两个固定块之间固定连接有同一个导向杆,导向杆上滑动套设有同一个矩形块,矩形块上开设有与导向杆相适配的圆孔,矩形块远离石英帽的一端两侧均开设有第一异形槽,矩形块另一端两侧均开设有第二异形槽,石英管内壁远离石英帽的一端设置有石英磷舟。本实用新型,实现了石英磷舟、石英柱和石英铟舟之间的间隙足够,既可保证磷蒸气平稳通过,也可使石英管内部热场更加稳定,提高磷化铟多晶合成质量。
本实用新型一种大尺寸高纯磷化铟多晶半导体材料合成用石英制品在权利要求书中公布了:1.一种大尺寸高纯磷化铟多晶半导体材料合成用石英制品,包括石英管(1),其特征在于,所述石英管(1)顶部设置有凸槽(2),且石英管(1)与凸槽(2)的一端设置有石英帽(3),所述凸槽(2)两端处均固定连接有固定块(7),两个所述固定块(7)之间固定连接有同一个导向杆(8),所述导向杆(8)上滑动套设有同一个矩形块(11),所述矩形块(11)上开设有与导向杆(8)相适配的圆孔,所述矩形块(11)远离石英帽(3)的一端两侧均开设有第一异形槽(1101),所述矩形块(11)另一端两侧均开设有第二异形槽(1102),所述石英管(1)内壁远离石英帽(3)的一端设置有石英磷舟(4),所述石英管(1)内壁靠近石英帽(3)的一端设置有石英铟舟(5)。
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