山东省科学院激光研究所;山东华光光电子股份有限公司李仕龙获国家专利权
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龙图腾网获悉山东省科学院激光研究所;山东华光光电子股份有限公司申请的专利一种复合热沉及其制备方法、半导体激光器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120073473B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510517531.6,技术领域涉及:H01S5/024;该发明授权一种复合热沉及其制备方法、半导体激光器是由李仕龙;王兆伟;朱振;唐先胜设计研发完成,并于2025-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种复合热沉及其制备方法、半导体激光器在说明书摘要公布了:本申请涉及半导体制备技术领域,并提供一种复合热沉及其制备方法、半导体激光器。制备方法包括将超顺排单壁碳纳米管贴附在第一金属层的第一表面;在第二表面贴附保护层;在超顺排单壁碳纳米管的表面电镀第二金属层,以形成复合结构;重复N次制备复合结构;去除保护层和第一金属层,得到第一热沉结构;与第二热沉结构键合,得到复合热沉。该制备方法能够发挥超顺排单壁碳纳米管轴向高热传导特性,且利用第二金属,提高第一热沉结构和第二热沉结构之间的键合效果将其作为热沉应用至半导体激光器中,可以提高半导体激光器中热量沿平面方向的传导速率,减低界面热阻,提高散热能力,保证半导体激光器的可靠性和使用寿命。
本发明授权一种复合热沉及其制备方法、半导体激光器在权利要求书中公布了:1.一种复合热沉的制备方法,其特征在于,包括: 将超顺排单壁碳纳米管贴附在第一金属层的第一表面; 在所述第一金属层的第二表面贴附保护层;所述第一表面和所述第二表面为所述第一金属层相对的两个表面; 在所述超顺排单壁碳纳米管的表面电镀第二金属层,以形成所述超顺排单壁碳纳米管与所述第二金属层的复合结构;其中,电镀条件包括:所述超顺排单壁碳纳米管、所述第一金属层和所述保护层作为阴极,第二金属作为阳极,将所述阴极和所述阳极置于电解液中; 重复N次制备所述复合结构;N为正整数; 去除所述保护层和所述第一金属层,得到第一热沉结构; 将所述第一热沉结构与第二热沉结构键合,得到复合热沉;其中,所述第二热沉结构为包含所述第二金属的热沉结构; 所述电镀条件还包括:电流为0.025-0.05Acm2,电镀时间为6-10min。
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