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龙图腾网获悉浙江摩克激光智能装备有限公司申请的专利一种基于旁轴机器视觉的晶圆加工路径规划方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119916738B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510400296.4，技术领域涉及：G05B19/19；该发明授权一种基于旁轴机器视觉的晶圆加工路径规划方法和装置是由肖武;李瑞彦;李斌;曹宇;吴让大;王瑾瑜;徐广琪设计研发完成，并于2025-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于旁轴机器视觉的晶圆加工路径规划方法和装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于旁轴机器视觉的晶圆加工路径规划方法和装置，旨在解决旁轴CCD与振镜视野不同轴导致的畸变问题及晶圆各向异性加工的方向控制难题，其使用二维振镜搭配XYZ三轴机床及旁轴CCD相机组件，并结合完成的视觉引导流程（机械标定→图像校正→路径规划），实现对晶圆表面加工路径的自动规划，减少人工干预，该方案生成的晶圆加工路径具有参数可设置、高精度、低成本、灵活可控的特点，并且加工路径和晶圆的定位边具有特定方向，从而实现对晶圆表面的特定路径进行精准加工的效果。

本发明授权一种基于旁轴机器视觉的晶圆加工路径规划方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种基于旁轴机器视觉的晶圆加工路径规划方法，其特征在于，包括以下步骤： S1、对机床的XYZ运动轴进行标定和同步控制，振镜和位于旁侧的CCD相机组件沿Z轴上下移动，托盘上放置的待加工晶圆沿XY轴方向移动； S2、对比振镜在标定板上打出的点阵标记点的实际坐标与理论坐标的偏差，生成补偿文件，校正二维振镜； S3、更换合适的相机目镜以调整CCD相机组件的成像位置和景深，使得CCD相机组件的成像平面在待加工晶圆表面，同时调节相机景深在1-3mm； S4、确定CCD相机组件的视野中心Oc和振镜的加工视野中心Og之间的机床坐标系下的偏置向量的值； S5、确定CCD相机组件视野下的图像和振镜加工视野的加工尺寸比例k； S6、利用图像检测方法获得CCD相机组件视野下的晶圆的圆心P（x0，y0）和特征边的两个端点M（x1，y1）和N（x2，y2），根据的符号判断特征矢量是或； S7、晶圆加工路径由若干组平行直线组成，通过设置平行直线之间的距离和平行直线 与特征矢量之间形成的夹角达到不同加工效果；首先，过晶圆的圆心P作直线GH相交于晶圆 外轮廓于G、H两点，GH是MN的中垂线，并得到G、H两点的像素坐标，将线段GH离散化为点集合 {Sn},Sn与Sn-1的距离为d；然后在GH上过点Sn、与特征矢量形成夹角做直线RQ，相交于 晶圆外轮廓于点Rn和Qn，则直线集合{RnQn}即为自动规划的加工路径，最后{RnQn}乘以步 骤S5中的转换比例k，即为振镜坐标系中的加工路径集合；最后，加工头沿着步骤S4中获得 的偏置向量移动后，按照加工路径k{RnQn}移动即可。

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