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龙图腾网获悉苏州精材半导体科技有限公司;北京精材半导体科技有限公司申请的专利化学气相沉积设备的反应容器、驱动系统与使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119753629B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411654025.3，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权化学气相沉积设备的反应容器、驱动系统与使用方法是由朴钟熏;崔海珍;金锡津设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本化学气相沉积设备的反应容器、驱动系统与使用方法在说明书摘要公布了：本专利涉及一种化学气相沉积设备的反应容器、驱动系统与使用方法，包括：反应容器、连接机构与驱动装置。反应容器用于提供化学气相沉积反应的反应空间。连接机构包括至少两个连接组件，设置在反应容器的一个外表面。驱动装置包括：旋转动力源与第一驱动轴。第一驱动轴连接在旋转动力源上，至少两个插接件，连接在第一驱动轴上，旋转动力源能够通过第一驱动轴带动插接件沿周向转动。至少两个连接组件与两个插接件对应布置，以便使被驱动的插接件一一对应地连接或断开连接。通过驱动装置驱动连接机构，以使连接机构带动反应容器进行移动，实现反应容器在反应系统内的移动。

本发明授权化学气相沉积设备的反应容器、驱动系统与使用方法在权利要求书中公布了：1.一种化学气相沉积设备的反应容器的驱动系统，其特征在于，包括： 反应容器，用于提供化学气相沉积反应的反应空间； 连接机构，包括：至少两个连接组件，设置在所述反应容器的一个外表面； 驱动装置，包括： 旋转动力源； 第一驱动轴，连接在所述旋转动力源上； 至少两个插接件，连接在所述第一驱动轴上，所述旋转动力源能够通过所述第一驱动轴带动所述插接件沿周向转动； 至少两个所述连接组件与两个所述插接件对应布置，以便使被驱动的所述插接件一一对应地连接或断开连接； 所述连接组件包括： 盖板和连接部，所述盖板通过所述连接部连接在所述反应容器的外表面上， 并在所述盖板和所述反应容器的外表面之间形成有容纳槽； 所述插接件的外表面形状与所述容纳槽相适配以插入或移出所述容纳槽； 所述容纳槽在平行于所述反应容器的外表面的截面为圆形的一部分，且所述截面的圆心角小于180度； 所述插接件的外表面形状在平行于所述盖板的截面为圆形的一部分，并且所述插接件的截面的面积小于或等于所述容纳槽在平行于所述反应容器的外表面的截面的面积； 所述插接件面相所述反应容器的一侧设置有滚动槽； 所述化学气相沉积设备的反应容器的驱动系统还包括： 滚动球，卡设在所述滚动槽内，所述滚动球能够在所述滚动槽内滚动，并且部分所述滚动球暴露于所述滚动槽外； 所述化学气相沉积设备的反应容器的驱动系统还包括： 控制模块； 至少一个第一传感器，设置在所述滚动槽内，以在与所述滚动球相互抵接后，向所述控制模块发送完成接触信号。

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