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龙图腾网获悉江苏道达智能科技有限公司申请的专利一种基于Ftest检验的晶圆制程数据分析方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119646383B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411605717.9，技术领域涉及：G06F17/18；该发明授权一种基于Ftest检验的晶圆制程数据分析方法是由胡志宏;戴敏;辛琳;李好设计研发完成，并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于Ftest检验的晶圆制程数据分析方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于Ftest检验的晶圆制程数据分析方法，属于晶圆制程数据分析技术领域。该方法基于晶圆制程数据分析系统实现，包括数据采集模块、数据库、数据处理模块、临界值确认模块、计算分析模块和智能调节模块；该方法通过对晶圆加工结束后的检测参数进行逻辑分组，通过Ftest检验分析，有效解决了在海量的晶圆制程数据中准确识别和解析组间复杂关系的难题，体现了晶圆制程数据分析的整体性和全面性；针对晶圆制造行业的特定需求，计算不同检测参数组的方差和不同检测参数组方差之间的F统计量，能快速识别影响晶圆性能的异常设置参数并控制晶圆加工机台对异常设置参数进行自动修正，提高了晶圆的生产加工质量。

本发明授权一种基于Ftest检验的晶圆制程数据分析方法在权利要求书中公布了：1.一种基于Ftest检验的晶圆制程数据分析方法，其特征在于，该方法包括以下步骤： S1、使用晶圆加工机台对晶圆进行加工，采集晶圆制程数据，所述晶圆制程数据包含晶圆加工过程中晶圆加工机台的设置参数和晶圆加工结束后的检测参数； S2、对采集的晶圆制程数据进行处理，根据晶圆加工机台ID将检测参数进行逻辑分组； S3、对逻辑分组后的检测参数进行Ftest检验，计算不同检测参数组的方差，并计算不同检测参数组方差之间的F统计量；将计算的F统计量与F分布的临界值进行比较，判断是否存在异常检测参数组；当存在异常检测参数组时，执行步骤S4； S4、根据异常检测参数组确定对应的异常设置参数，并对晶圆加工机台中的异常设置参数进行自动修正； 所述步骤S4的方法步骤为： S41、对异常检测参数组进行分析，确定与其他检测参数组进行两两比较后均为异常检测参数组对应的检测参数组，并将该检测参数组作为调整分析数据，确定调整分析数据对应的晶圆加工机台，将该晶圆加工机台的设置参数作为异常设置参数； S42、根据逻辑分组后的检测参数组集合H，确定检测参数的总平均值 S43、将调整分析数据中的检测参数与进行比较，确定大于的检测参数集合X1和小于的检测参数集合X2，根据平方差分别计算检测参数集合X1和X2中的检测参数与的离散程度L1和L2，根据L1和L2的差值大小程度对晶圆加工机台中的异常设置参数进行调整。

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