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龙图腾网获悉无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司申请的专利一种静电吸盘的氦气供应装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119133031B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411520383.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种静电吸盘的氦气供应装置及方法是由陆北源;沈大勇;戴建波设计研发完成，并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种静电吸盘的氦气供应装置及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种静电吸盘的氦气供应装置及方法，所述氦气供应装置包括底板，所述底板上固定设置有氦气进气管路与氦气出气管路，所述氦气进气管路与氦气出气管路通过质量压力控制器相连接，所述氦气出气管路包括并联设置的静电吸盘吹扫管路与抽气泵组管路；所述氦气进气管路包括沿进气方向依次设置的压力调节阀、电子压力计以及第一气动阀；所述静电吸盘吹扫管路上设置有第二气动阀，抽气泵组管路上设置有第三气动阀。本发明在气动、电控的方式上能够直观有效地实现对静电吸盘底部进行匀热吹扫和温度控制。

本发明授权一种静电吸盘的氦气供应装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种静电吸盘的氦气供应方法，其特征在于，所述氦气供应方法包括如下步骤： 氦气依次流经压力调节阀与第一气动阀后进入质量压力控制器，经过压力调节后流经第二气动阀，然后通入静电吸盘进行吹扫； 所述第一气动阀与第二气动阀为互锁关系，当满足如下条件时，第一气动阀与第二气动阀同时打开：（1）静电吸盘所在腔体内压力≤20Torr；（2）静电吸盘上放置晶圆；（3）氦气初始进气压力为9-11PSI； 所述静电吸盘上未放置晶圆时，第一气动阀与第二气动阀为关闭状态，打开第三气动阀进行抽气泵组管路的气体抽空处理； 所述氦气供应方法通过静电吸盘的氦气供应装置进行，所述氦气供应装置包括底板，所述底板上固定设置有氦气进气管路与氦气出气管路，所述氦气进气管路与氦气出气管路通过质量压力控制器相连接，所述氦气出气管路包括并联设置的静电吸盘吹扫管路与抽气泵组管路； 所述氦气进气管路包括沿进气方向依次设置的压力调节阀、电子压力计以及第一气动阀；所述静电吸盘吹扫管路上设置有第二气动阀，抽气泵组管路上设置有第三气动阀； 所述抽气泵组管路的出口连接有抽真空管道，所述抽真空管道的一端与静电吸盘所在腔体连接，另一端与抽气泵组连接。

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